141 モールドプロセスを用いた高分子導波路と微細周期構造の製作
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概要
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Polymer microfabrication methods are becoming increasingly important as low-cost alternatives to the silicon or glass-based MEMS technologies. This paper describes a new process suitable for fabrication of micro periodic structure in optical waveguide. Si mold were fabricated using electron beam lithography and fast atom beam etching. Grating coupler were fabricated by replication of polymers using the mold. The grating coupler was evaluated with a monochromator.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2000-03-24
著者
-
佐々木 実
Dept. Of Advanced Science And Technology Toyota Technological Institute
-
羽根 一博
東北大学
-
佐々木 実
東北大学
-
Sasaki M
Department Of Physics. Faculty Of Sciences Yamagata University
-
李 以貴
東北大学
-
羽根 一博
東北大学大学院
-
羽根 一博
東北大
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