シリコン異方性エッチングを用いた微小共振器の研究
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概要
- 論文の詳細を見る
- 2000-12-20
著者
-
佐々木 実
Dept. Of Advanced Science And Technology Toyota Technological Institute
-
羽根 一博
東北大学
-
佐々木 実
東北大学
-
Sasaki M
Department Of Physics. Faculty Of Sciences Yamagata University
-
李 以貴
東北大学
-
羽根 一博
東北大学大学院
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