金属表面回折格子を用いた光エンコーダ
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概要
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With an intense thermal variation, optical encoder yields measuring error because of the generation of nonlinear strain due to the difference of the thermal expantion coefficient between a glass scale and a metallic parts of machines. In this study, a method of using a grating which is directly manufactured on a metallic surface of parts of machines is proposed. Using this method, the thermal strain is made linear and the error becomes simplified to calibrate. Furthermore, it realizes a miniaturization of the system and improves its vibration-resistance. This paper shows the process of making a grating on a metallic surface by photolithography using some methods and ascertains the sufficient performance of this scale in an optical encoder.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1998-10-05
著者
-
佐々木 実
Dept. Of Advanced Science And Technology Toyota Technological Institute
-
奥山 賢一
東北大学
-
羽根 一博
東北大学工学部機械電子工学科
-
奥山 賢一
東北大学工学部
-
佐々木 実
東北大学工学部
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