SC-10-3 マイクロマシニングによる集積型光学システムの制作
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-03-03
著者
-
佐々木 実
Dept. Of Advanced Science And Technology Toyota Technological Institute
-
佐々木 実
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
-
Hane Kazuhiro
Department Of Mechatronics & Precision Engineering Tohoku University
-
Sasaki M
Department Of Physics. Faculty Of Sciences Yamagata University
-
Sasaki Masahiro
Institute Of Applied Physics University Of Tsukuba
-
羽根 一博
東北大学大学院
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