523 櫛歯電極型静電アクチュエータを用いた大変位XYステージ(ロボティクス,2.学術講演)
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概要
- 論文の詳細を見る
- 2005-03-15
著者
-
佐々木 実
Dept. Of Advanced Science And Technology Toyota Technological Institute
-
羽根 一博
東北大学
-
佐々木 実
東北大学
-
坊野 史典
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
-
Hane Kazuhiro
Department Of Mechatronics & Precision Engineering Tohoku University
-
Sasaki M
Department Of Physics. Faculty Of Sciences Yamagata University
-
Sasaki Masahiro
Institute Of Applied Physics University Of Tsukuba
-
羽根 一博
東北大学大学院
-
羽根 一博
東北大学大学院工学研究科
-
羽根 一博
東北大
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