佐々木 実 | 東北大学
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概要
関連著者
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佐々木 実
Dept. Of Advanced Science And Technology Toyota Technological Institute
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羽根 一博
東北大学
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佐々木 実
東北大学
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羽根 一博
東北大学大学院
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Sasaki M
Department Of Physics. Faculty Of Sciences Yamagata University
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Hane Kazuhiro
Department Of Mechatronics & Precision Engineering Tohoku University
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Sasaki Masahiro
Institute Of Applied Physics University Of Tsukuba
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羽根 一博
東北大
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羽根 一博
東北大学大学院工学研究科
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石杜 昌弘
東北大学
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梨木 政行
(株)デンソー 開発部
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梨木 政行
オークマ(株)研究開発部
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松井 圭司
オークマ(株)
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家城 淳
オークマ(株)
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横山 将史
オークマ(株)
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李 以貴
東北大学
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能川 真一郎
東北大学
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竹辺 仁
東北大学
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金森 義明
東北大学
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陳俊中 エドウィン
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
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坊野 史典
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
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平野 貴之
東北大
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櫻井 克彦
東北大学第一内科
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櫻井 克彦
東北大学
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稲葉 成基
岐阜高専
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金森 義明
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
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南 和幸
山口大
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田村 雄一郎
東北大学
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梨木 政行
オークマ株式会社
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南 和幸
山口大学大学院医学系研究科応用医工学系専攻
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南 和幸
山口大院
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Hane Kazuhiro
Faculty Of Engineering Tohoku University
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ミィ シャオユウ
東北大
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三浦 宏介
東北大
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金森 義明
東北大・工
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Kumar Singh
東北大学
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藤井 剛大
東北大
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金森 義明
東北大学大学院工学研究科
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萩原 隆志
東北大学大学院工学研究科
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結城 慎也
東北大学
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田辺 順也
東北大
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吉沢 朋也
東北大
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稲葉 成基
岐阜工業高等専門学校電気情報工学科
著作論文
- MEMS構造を利用した光集積型センサ
- 位相シフトマスクを利用した立体サンプルへの微細パターン露光法
- リットマン型外部共振器波長可変レーザ用ミラーデバイスの開発
- 1126 変調型のフォトダイオードアレイを用いた絶対位置計測用光エンコーダ
- 一回転整合円筒面回転リソグラフィ装置の開発
- 変調型フォトダイオードを用いた光学式エンコーダ
- 薄膜光検出器を用いた集積型粗微動変位センサ
- 電磁アクチュエータを用いた波長可変ファイバグレーティングフィルタの開発
- 523 櫛歯電極型静電アクチュエータを用いた大変位XYステージ(ロボティクス,2.学術講演)
- Siの高アスペクト比エッチングによる光センサ部品の製作
- Si薄膜上に製作した透過型ポジションセンサ
- シリコン異方性エッチングを用いた微小共振器の研究
- 141 モールドプロセスを用いた高分子導波路と微細周期構造の製作
- レジストスプレーコーティングの特性と反応
- 428 ドライエッチングした結晶Si壁面の平坦化と光応用(光メカトロニクスI)(OS.6 ナノ構造創成をめざす光メカトロニクスの展開)
- サブ波長周期の反射防止構造を有する発光ダイオードの光学特性
- 引張応力のあるトーションバーを用いた静電駆動型ミラーデバイス
- Si基板折り曲げにより実現する立体的マイクロ光学ベンチ
- 立体的マイクロマシニングのためのレジストスプレーコーティング
- 宇宙の神秘に挑む「すばる」望遠鏡 国際天文台ハワイ観測所を訪ねて
- 透過型フォトダイオードの開発と光計測
- レジスト噴霧法による3次元リソグラフィの開発と光ファイバ端面加工への応用
- マイクロマシニングによるメカトロニクス用フォトダイオードの開発
- 円柱面転動リソグラフィ装置の開発
- 自立微細回折格子を用いた原子干渉計の設計と製作