Si基板折り曲げにより実現する立体的マイクロ光学ベンチ
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概要
- 論文の詳細を見る
- 2002-11-27
著者
-
佐々木 実
Dept. Of Advanced Science And Technology Toyota Technological Institute
-
羽根 一博
東北大学
-
佐々木 実
東北大学
-
石杜 昌弘
東北大学
-
Hane Kazuhiro
Department Of Mechatronics & Precision Engineering Tohoku University
-
Sasaki M
Department Of Physics. Faculty Of Sciences Yamagata University
-
Sasaki Masahiro
Institute Of Applied Physics University Of Tsukuba
-
羽根 一博
東北大学大学院
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