WS-06 NANO/MICRO-TECHNOLOGIES FOR HIGH DENSITY DATA-STORAGE AND OPTICAL APPLICATIONS
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概要
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Data-storage using near-field optical microscopy is a promising technology for the breakthrough of high-density optical disk memory since wavelength limit of conventional lens-optics is not applied. We have proposed a MEMS for the near-field optical data storage, which consists of integrated optical micro-probes and a micro media-translation-table. In the first part of the presentation, three-dimensional lithography based on the bulk micromachining using resist spray coater is described. Secondly, we describe the integration of waveguide, micro-pinhole tip, cantilever, and photodiode for a MEMS probe. The media-translation-table consisting of the inverted scratch drive actuators is also described.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
著者
-
佐々木 実
Dept. Of Advanced Science And Technology Toyota Technological Institute
-
金森 義明
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
-
Sasaki Minoru
Department of Acoustic Design,Kyushu Institute of Design
-
Hane Kazuhiro
Department Of Mechatronics & Precision Engineering Tohoku University
-
Sasaki M
Department Of Physics. Faculty Of Sciences Yamagata University
-
Sasaki Masahiro
Institute Of Applied Physics University Of Tsukuba
-
金森 義明
東北大・工
-
KANAMORI Yoshiaki
Department of Mechatronics and Precision Engineering, Tohoku University
-
羽根 一博
東北大学大学院
-
Hane Kazuhiro
Department Of Electronic Mechanical Engineering Faculty Of Engineering Nagoya University
-
金森 義明
東北大学大学院工学研究科
-
Kanamori Yoshiaki
Department Of Machatronics And Precision Engineering Tohoku University
-
Sasaki Minoru
Department Of Acoustic Design Kyushu Institute Of Design
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