マイクロマシニングによる光通信用部品の開発 (特集 最近のMEMS技術)
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概要
著者
-
佐々木 実
Dept. Of Advanced Science And Technology Toyota Technological Institute
-
Sasaki M
Department Of Physics. Faculty Of Sciences Yamagata University
-
羽根 一博
東北大学大学院
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