Two-Dimensional Control of Shape-Memory-Alloy Actuators for Aligning a Si Micromachined Pinhole of Spatial Filter
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概要
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The automatic alignment of a pinhole is realized in two dimensions and its function as a spatial filter is confirmed. A pinhole device surrounded by four photodiode cells fabricated by Si micromachining techniques is placed on a movable xy stage which consists of four shape-memory-alloy actuators. The feedback control based on the signal obtained from the integrated photodiode is confirmed to be feasible for aligning a pinhole in two dimensions even if the shape-memory-alloy actuators are disadvantageous for controlling its displacement including cross-interaction. The spatial filtering function of an automatically aligned pinhole is confirmed.
- 社団法人応用物理学会の論文
- 1999-12-30
著者
-
佐々木 実
Dept. Of Advanced Science And Technology Toyota Technological Institute
-
Sasaki Minoru
Department of Acoustic Design,Kyushu Institute of Design
-
Sasaki M
Department Of Physics. Faculty Of Sciences Yamagata University
-
KAMADA Wataru
Department of Mechatronics and Precision Engineering, Tohoku University
-
羽根 一博
東北大学大学院
-
Kamada Wataru
Department Of Mechatronics And Precision Engineering Tohoku University
-
Hane Kazuhiro
Department Of Electronic Mechanical Engineering Faculty Of Engineering Nagoya University
-
Sasaki Minoru
Department Of Acoustic Design Kyushu Institute Of Design
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