羽根 一博 | 東北大学

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概要

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• 同名の論文著者
• 東北大学の論文著者

関連著者

• 羽根 一博

  東北大学

• 羽根 一博

  東北大学大学院

• 佐々木 実

  Dept. Of Advanced Science And Technology Toyota Technological Institute

• Hane Kazuhiro

  Department Of Mechatronics & Precision Engineering Tohoku University

• 羽根 一博

  東北大学大学院工学研究科

• Sasaki M

  Department Of Physics. Faculty Of Sciences Yamagata University

• 佐々木 実

  東北大学

• 金森 義明

  東北大・工

• 金森 義明

  東北大学

• 金森 義明

  東北大学大学院工学研究科

• 金森 義明

  東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻

• Hane Kazuhiro

  Faculty Of Engineering Tohoku University

• Sasaki Masahiro

  Institute Of Applied Physics University Of Tsukuba

• 羽根 一博

  東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻

• 稲葉 成基

  岐阜高専

• 熊崎 裕教

  岐阜工業高等専門学校電気情報工学科

• 植田 明照

  愛知工大

• 鳥井 昭宏

  愛知工業大学

• 植田 明照

  愛知工業大学

• 佐々木 実

  豊田工業大学

• 熊崎 裕教

  岐阜高専

• 佐々木 実

  東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻

• 湯上 浩雄

  東北大学大学院工学研究科

• 島村 暁

  岐阜工業高等専門学校電気工学科

• 島村 暁

  岐阜高専

• 齋 均

  豊田工大

• 齋 均

  東北大学大学院工学研究科

• 西倉 義秀

  愛知工業大学

• 石杜 昌弘

  東北大学

• 梨木 政行

  (株)デンソー 開発部

• 梨木 政行

  オークマ(株)研究開発部

• 松井 圭司

  オークマ(株)

• 家城 淳

  オークマ(株)

• 横山 将史

  オークマ(株)

• 李 以貴

  東北大学

• 鳥井 昭宏

  愛知工業大学 工学部 電気学科

• 植田 明照

  愛知工業大学 工学部 電気学科

• SASAKI Minoru

  Tohoku University

• ISHIMORI Masahiro

  Tohoku University

• HANE Kazuhiro

  Tohoku University

• 陳俊中 エドウィン

  東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻

• 坊野 史典

  東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻

• 湯上 浩雄

  東北大学

• 大橋 俊朗

  東北大・工

• 稲葉 成基

  岐阜工業高等専門学校

• 佐々木 敬

  東北大学

• 山本 勉

  愛知工業大学大学院工学研究科電気電子工学

• 伊藤 亮輔

  東北大学

• 胡 芳仁

  東北大学

• 熊崎 裕敦

  岐阜高専

• 湯上 浩雄

  東北大 科研

• 竹辺 仁

  東北大学

• Hane Kazuhiro

  Tohoku Univ. Jpn

• Hane Kazuhiro

  Tohoku Univ. Dept. Of Nanomechanics

• 小野 崇人

  東北大学

• 大橋 俊朗

  東北大学 大学院 工学研究科 バイオロボティクス専攻

• 大熊 繁

  名古屋大学

• 青柳 誠司

  関西大学工学部

• 高村 禅

  北陸先端科学技術大学院大学マテリアルサイエンス研究科

• 新宮原 正三

  関西大学大学院工学研究科

• 芝 和宏

  NECナノエレクトロニクス研究所

• 牧田 紀久夫

  NECナノエレクトロニクス研究所

• 小田 俊理

  東工大量子ナノエレ研セ

• 稲葉 成基

  岐阜工業高等専門学校電気工学科

• 熊崎 裕教

  岐阜工業高等専門学校電気工学科

• 平本 俊郎

  東京大学生産技術研究所

• 高村 禅

  北陸先端大院・マテリアルサイエンス

• 高村 禅

  北陸先端科学技術大学院大学

• 浦岡 行治

  奈良先端大

• 佐藤 博啓

  東北大学大学院工学研究科

• 川上 徹

  東北大学大学院工学研究科

• 片桐 麦

  東北大学大学院工学研究科

• SASAKI Minoru

  Dept. of Advanced Science and Technology, Toyota Technological Institute

• ENDOU Satoshi

  Dept. of Nanomechanics Eng., Tohoku University

• HANE Kazuhiro

  Dept. of Nanomechanics Eng., Tohoku University

• SONG JongHyeong

  Tohoku University

• 長山 和亮

  名古屋工業大学大学院工学研究科

• 松本 健郎

  名古屋工業大学大学院工学研究科

• 佐藤 正明

  東北大学大学院工学研究科

• 一木 隆範

  東大院・工・バイオエンジニアリング

• 平本 俊郎

  東大

• 平本 俊郎

  東京大学生産技術研究所:mirai-selete

• 小田 俊理

  東工大工

• 小田 俊理

  東工大量子ナノ研:sorst-jst

• 小田 俊理

  東京工業大学量子ナノエレクトロニクス研究センター

• ODA Shunri

  Research Center for Quantum Effect Electronics, Tokyo Institute of Technology

• 高橋 庸夫

  北海道大学大学院情報科学研究科

• 松井 真二

  兵庫県立大高度研

• 後藤 和也

  東北大学 大学院工学研究科化学工学専攻

• 平野 貴之

  東北大

• 森 伸也

  阪大院工

• 森 伸也

  阪大工

• 松本 健郎

  名古屋工業大学

• 辰巳 哲也

  ソニー(株)半導体事業本部セミコンダクターテクノロジー開発部門

• 辰巳 哲也

  技術研究組合 超先端電子技術開発機構 プラズマ技術研究室

• 鳥海 明

  東大

• 金田 千穂子

  富士通研

• 小田中 紳二

  阪大

• 宮崎 誠一

  広大院先端研

• 芝 和宏

  NEC 関西エレクトロニクス研究所

• 奥山 賢一

  東北大学

• 櫻井 克彦

  東北大学第一内科

• 櫻井 克彦

  東北大学

• 金田 千穂子

  富士通研究所

• 灰田 周平

  東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻

• 南 和幸

  山口大

• 中野 健

  名古屋大学

• 石田 誠

  豊橋技科大

• 井谷 俊郎

  Selete

• 上野 和良

  芝浦工大

• 坂本 邦博

  産総研

• 芝原 健太郎

  広大

• 須田 良幸

  農工大

• 高橋 庸夫

  北大

• 久本 大

  日立

• 廣瀬 和之

  宇宙研

• 水野 文二

  UJTラボ

• 須田 良幸

  農工大・工

• 一木 隆範

  東洋大学・工

• 新宮原 正三

  関西大

• 井谷 俊郎

  日本電気ULSIデバイス開発研究所

• 鳥海 明

  東大・物工

• 鳥海 明

  東大院工

• 青柳 誠司

  関西大学システム理工学部機械工学科

• 青柳 誠司

  関西大学

• 辰巳 哲也

  ソニー

• 高村 禅

  北陸先端大

• 森 伸也

  阪大

• 小野 崇人

  東北大学大学院工学研究科

• 田中 康太郎

  東北大学 工学研究科

• 小田 俊理

  東工大

• 芝 和宏

  日本電気(株)関西エレクトロニクス研究所

• 鮫島 英久

  東北大学

• 涌井 雅史

  東北大学

• 趙 洋

  東北大学

• 高橋 庸夫

  東北大・工

• 高橋 庸夫

  北海道大学 大学院情報科学研究科

• 田村 雄一郎

  東北大学

• 梨木 政行

  オークマ株式会社

• 平田 徹

  住友重機械工業(株)平塚研究所

• 南 和幸

  山口大学大学院医学系研究科応用医工学系専攻

• 南 和幸

  山口大院

• 大河内 昌章

  東北大学工学部

• 江口 正

  キヤノン

• 内田 龍男

  東北大学大学院

• 後藤 和也

  東北大

• Hane Kazuhiro

  Dept. Of Nanomechanics Eng. Tohoku University

• 井谷 俊郎

  Nec

• Hiramoto Toshirou

  Device Development Center Hitachi Ltd.

• Hiramoto Toshiro

  The Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo:vlsi Design And Education Center The Uni

• Hiramoto Toshiro

  Institute Of Industrial Science University Of Tokyo

• Hiramoto Toshiro

  Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo

• Hiramoto T

  Univ. Tokyo

• Hiramoto Toshiro

  Vlsi Design And Education Center University Of Tokyo

• 宮崎 誠一

  広大

• 松井 真二

  兵庫県立大

• 高橋 庸夫

  日本確信電話(株)ntt物性科学基礎研究所

• 田中 康太郎

  東北大学工学部

• Oda S

  Tokyo Inst. Technology Tokyo Jpn

• Oda S

  Tokyo Inst. Technol. Tokyo Jpn

• Oda Shunri

  Quantum Nanoelectronics Research Center Tokyo Institute Of Technology

• Oda Shunri

  Research Center For Quantum Effect Electronics And Department Of Physical Electronics Tokyo Institut

• Oda Shunri

  The Graduate School At Nagatsuta Tokyo Institute Of Technology

• ミィ シャオユウ

  東北大

• 青柳 誠司

  金沢大学工学部

• 三玉 一郎

  住友重機械工業(株)

• 牧田 紀久夫

  日本電気(株)光・超高周波デバイス研究所

• 三浦 宏介

  東北大

• 武藤 能之

  岐阜高専

• 伊藤 善規

  (株)ハーモニック・ドライブ・システムズ

• 伊藤 善規

  Harmonic Drive Systems

• 見田村 宗雄

  (株)ハーモニック・ドライブ・システムズ

• 那須 祐治

  関西電力株式会社 大阪北電力所 野江電力システムセンター

• 山田 佳寿

  岐阜高専

• 山田 佳寿

  岐阜工業高等専門学校電気工学科

• 西沢 五郎

  名古屋大学

• 一木 隆範

  東大

• 一木 隆範

  東京大学大学院工学系研究科バイオエンジニアリング専攻

• 菱沼 知佳

  東北大学工学部

• 高橋 一法

  東北大学

• 崔 峯碩

  東北大学

• 梅森 謙一

  東北大学

• 高橋 庸夫

  北海道大学情報科学研究科

• 阿部 昌博

  住友重機械工業(株)技術開発センター

• 小野 崇人

  東北大

• 吉田 充伸

  東北大学大学院工学研究科

• Hiramoto Toshiro

  The Authors Are With Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo:the Author Is With Vlsi

• 小田 俊理

  東京工業大学総合理工学研究科

• Hiramoto Toshiro

  Vlsi Design And Education Center The University Of Tokyo

• 平田 徹

  住友重機械工業

• 平田 徹

  住友重機械工業(株)技術開発センター

• 平田 徹

  住友重機械工業(株)技術開発センター成膜微細加工グループ

• Kumar Singh

  東北大学

• Endou Satoshi

  Dept. Of Nanomechanics Eng. Tohoku University

• 藤井 剛大

  東北大

• 一木 隆範

  東大 大学院工学系研究科

• 穂苅 遼平

  東北大学

• 一木 隆範

  東京大学 大学院工学系研究科 バイオエンジニアリング専攻

• 西澤 五郎

  名古屋大学

• 三玉 一郎

  住友重機械工業(株)技術開発センター

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著作論文

• 配線やデバイスの立体化に可能性を開く3次元フォトリソグラフィ : (2)露光(講座「ちょっとMEMS」第9回)
• Compact Triangulation Sensor Realized by Bending Si Wafer with Optical Elements at Metal Hinges
• 配線やデバイスの立体化に可能性を開く3次元フォトリソグラフィ : (1)成膜(講座「ちょっとMEMS」第8回)
• アセンブリを支援するMEMS構造(講座「ちょっとMEMS」第7回)
• MEMSデバイス製作とアセンブリをマッチングする試み(講座「ちょっとMEMS」第6回)
• 高密度プラズマの光マイクロマシンへの応用(高密度プラズマとその応用技術の最前線)
• Tunable Vertical Comb for Driving Micromirror Realized by Bending Device Wafer(Micro/Nano Photonic Devices,Microoptomechatronics)
• Micromirror with Two Parallel Rotation Axes for External Cavity Diode Laser(Micro/Nano Photonic Devices,Microoptomechatronics)
• 光通信デバイスのためのMEMS (特集 光ネットワーク時代の光技術)
• MEMS構造を利用した光集積型センサ
• 位相シフトマスクを利用した立体サンプルの露光法
• 位相シフトマスクを利用した立体サンプルへの微細パターン露光法
• 分割した櫛歯電極型静電駆動アクチュエータ
• リットマン型外部共振器波長可変レーザ用ミラーデバイスの開発
• (2)細胞の力学特性計測のためのレーザ顕微鏡組込み型原子間力顕微鏡(AFM)システムの開発(論文,日本機械学会賞〔2004年度(平成16年度)審査経過報告〕)
• 光ファイバーコアの光熱振動を利用した密度のフォトニックセンシング
• 近赤外光用サブ波長反射防止構造の光学設計および自己組織化ナノ微粒子を用いた製作
• 集光用可変ミラーの変形に及ぼす支持フレームの影響
• シリコン技術
• シリコン基板上の酸化ハフニウム膜の窒化によるバッファ層の形成とGaN結晶の成長
• 光MEMSのためのSi基板上GaN量子井戸結晶のMBE成長
• SOIウエハから製作されたミラーの形状測定と応力解析
• 1126 変調型のフォトダイオードアレイを用いた絶対位置計測用光エンコーダ
• 一回転整合円筒面回転リソグラフィ装置の開発
• 変調型フォトダイオードを用いた光学式エンコーダ
• ナノインプリント法による光ファイバ端面への反射防止サブ波長構造の製作
• サブ波長格子 : バイオミメティック構造からフォトニックデバイスへ
• C-3-113 MEMSを用いたサージ光抑制器の開発(C-3. 光エレクトロニクス, エレクトロニクス1)
• 薄膜光検出器を用いた集積型粗微動変位センサ
• 電磁アクチュエータを用いた波長可変ファイバグレーティングフィルタの開発
• PSI法を用いた超音波モータの計測
• ストロボ位相シフト干渉法を用いた超音波モータの計測
• フォトサーマル励振されたマイクロカンチレバーを用いたメカニカルセンシング
• 光学式アクチュエータのための光ファイバーコアの光熱振動
• 光熱振動する光ファイバーコアの水中における共振特性
• MEMSを応用した投影型エンコーダの開発
• ファイバ型光制御デバイスのための三次元的微細加工
• 光ファイバの微細加工とファイバ型デバイスへの応用
• メモリ読み出し用ねじれ振動型AFMプローブに関する解析と製作
• ストロボ法を用いた超音波モータ表面の縞走査干渉画像計測
• 光通信用シリコン導波路MEMS (特集 光で/を動かす技術)
• 精密プレス成形による導光板端面への回折格子の製作
• 光通信用ナノマシン (特集 光マイクロ・ナノマシン)
• ナノフォトニクスデバイス制御用薄型櫛歯静電アクチュエータの製作
• シリコン光MEMS (特集 新たな地平に向かうシリコンフォトニクス)
• 集積型光エンコーダの開発 : 間隙不感型光学系の設計とセンサの製作
• 522 静電アクチュエータを用いた可変スラブによるフォトニック結晶光スイッチの製作(ロボティクス,2.学術講演)
• 523 櫛歯電極型静電アクチュエータを用いた大変位XYステージ(ロボティクス,2.学術講演)
• 金属表面上への回折格子パターンのリソグラフィ転写による光エンコーダの提案
• 1515 周期的表面微細構造による高融点金属からの熱放射スペクトル制御
• 光と周期的表面構造との共鳴効果を利用したスペクトル選択性熱放射表面の創製
• サブミクロン周期の表面微細構造を有する太陽光選択吸収材料の研究
• Siの高アスペクト比エッチングによる光センサ部品の製作
• Si薄膜上に製作した透過型ポジションセンサ
• シリコン異方性エッチングを用いた微小共振器の研究
• 141 モールドプロセスを用いた高分子導波路と微細周期構造の製作
• CI-1-5 MEMSデバイスを用いた光路切り替えスイッチ(CI-1.ナノフォトニクス技術のアクションアイテムズ,依頼シンポジウム,シンポジウムセッション)
• レジストスプレーコーティングの特性と反応
• 428 ドライエッチングした結晶Si壁面の平坦化と光応用(光メカトロニクスI)(OS.6 ナノ構造創成をめざす光メカトロニクスの展開)
• GaN発光素子とSi-MEMSの融合を目指して (特集 進展するMEMS技術--様々なアプリケーションに向けて)
• 曲げモーメント駆動による焦点可変放物面ミラーの設計と製作
• ナノテク最前線 光MEMSの新展開:サブ波長光学のためのMEMS
• W2 光MEMS開発の現状と材料力学的評価技術の必要性(技術ワークショップ『MEMS開発の最新動向と材料力学への期待』)
• MEMS可動型シリコン細線カプラー導波路スイッチ (特集 光MEMS技術の新展開)
• ナノテク最前線 高機能マイクロミラーデバイス--小型かつ付加価値の高いミラーデバイスへの試み
• 細いフレームを持つ焦点可変ミラーの SOI ウエハ残留応力による変形
• 201 周期的な表面微細構造によるWの熱放射スペクトル制御とTPV発電への応用(学生賞セッションI)
• 高速原子ビームエッチングによるナノメートル無反射構造の作製 (特集 ナノ・フォトニクス)
• サブ波長周期の反射防止構造を有する発光ダイオードの光学特性
• ストロボ位相シフト干渉法を用いた過渡振動分布計測
• ストロボ位相シフト干渉法を用いたUSMの過渡振動計測
• ストロボ位相シフト干渉法を用いたマイクロデバイス表面の過渡振動分布計測
• ストロボ位相シフト干渉を用いた高速過渡現象の可視化
• 有限要素法による電磁駆動式マイクロミラーの磁場-構造連成解析
• 引張応力のあるトーションバーを用いた静電駆動型ミラーデバイス
• Si基板折り曲げにより実現する立体的マイクロ光学ベンチ
• 立体的マイクロマシニングのためのレジストスプレーコーティング
• 光ファイバを利用した光熱振動型センサ
• 光ファイバを用いたレーザ駆動マイクロメカニカルセンサ
• 宇宙の神秘に挑む「すばる」望遠鏡 国際天文台ハワイ観測所を訪ねて
• 水素アニールによるSiエッチング加工面のラフネス低減
• サブ波長構造による構造色利用反射型3原色カラーフィルタの製作
• 透過型フォトダイオードの開発と光計測
• レジスト噴霧法による3次元リソグラフィの開発と光ファイバ端面加工への応用
• マイクロマシニングによるメカトロニクス用フォトダイオードの開発
• 円柱面転動リソグラフィ装置の開発
• 自立微細回折格子を用いた原子干渉計の設計と製作
• 19.11.マイクロメカトロニクス(19.情報・精密機械)(機械工学年鑑)
• 19.12.マイクロメカトロニクス(19.情報・精密機械)(機械工学年鑑)
• 19.12 マイクロメカトロニクス(19.情報・精密機械)
• 光通信マイクロマシン 光スイッチ,可変フィルタなどを中心に
• 光応用計測
• SPIE 1999 Symposium on Micromachining and Microfabrication国際会議報告
• 18.5メカノプティクス(18.ロボティクス・メカトロニクス)
• 1-1 導波モード共鳴格子フィルタを用いた画像分光(第1部門 センシング&コンシューマエレクトロニクス&ストレージ)
• マイクロアクチュエータを用いた間隙可変シリコンカプラースイッチの特性評価
• 水素アニールによるラフネス低減における雰囲気依存性
• 超小型アクチュエータを用いた光導波路カプラスイッチ(トピックス)

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