ナノフォトニクスデバイス制御用薄型櫛歯静電アクチュエータの製作
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概要
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- 2007-07-03
著者
-
羽根 一博
東北大学
-
金森 義明
東北大学
-
金森 義明
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
-
高橋 一法
東北大学
-
金森 義明
東北大・工
-
羽根 一博
東北大学大学院
-
金森 義明
東北大学大学院工学研究科
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