水素アニールによるSiエッチング加工面のラフネス低減
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2011-07-01
著者
関連論文
- 配線やデバイスの立体化に可能性を開く3次元フォトリソグラフィ : (2)露光(講座「ちょっとMEMS」第9回)
- Compact Triangulation Sensor Realized by Bending Si Wafer with Optical Elements at Metal Hinges
- 配線やデバイスの立体化に可能性を開く3次元フォトリソグラフィ : (1)成膜(講座「ちょっとMEMS」第8回)
- アセンブリを支援するMEMS構造(講座「ちょっとMEMS」第7回)
- MEMSデバイス製作とアセンブリをマッチングする試み(講座「ちょっとMEMS」第6回)
- 高密度プラズマの光マイクロマシンへの応用(高密度プラズマとその応用技術の最前線)
- Tunable Vertical Comb for Driving Micromirror Realized by Bending Device Wafer(Micro/Nano Photonic Devices,Microoptomechatronics)
- Micromirror with Two Parallel Rotation Axes for External Cavity Diode Laser(Micro/Nano Photonic Devices,Microoptomechatronics)
- 光通信デバイスのためのMEMS (特集 光ネットワーク時代の光技術)
- MEMS構造を利用した光集積型センサ
- 位相シフトマスクを利用した立体サンプルの露光法
- 位相シフトマスクを利用した立体サンプルへの微細パターン露光法
- 分割した櫛歯電極型静電駆動アクチュエータ
- リットマン型外部共振器波長可変レーザ用ミラーデバイスの開発
- (2)細胞の力学特性計測のためのレーザ顕微鏡組込み型原子間力顕微鏡(AFM)システムの開発(論文,日本機械学会賞〔2004年度(平成16年度)審査経過報告〕)
- 光ファイバーコアの光熱振動を利用した密度のフォトニックセンシング
- 近赤外光用サブ波長反射防止構造の光学設計および自己組織化ナノ微粒子を用いた製作
- 集光用可変ミラーの変形に及ぼす支持フレームの影響
- シリコン技術
- シリコン基板上の酸化ハフニウム膜の窒化によるバッファ層の形成とGaN結晶の成長
- 光MEMSのためのSi基板上GaN量子井戸結晶のMBE成長
- SOIウエハから製作されたミラーの形状測定と応力解析
- 1126 変調型のフォトダイオードアレイを用いた絶対位置計測用光エンコーダ
- 一回転整合円筒面回転リソグラフィ装置の開発
- 変調型フォトダイオードを用いた光学式エンコーダ
- ナノインプリント法による光ファイバ端面への反射防止サブ波長構造の製作
- サブ波長格子 : バイオミメティック構造からフォトニックデバイスへ
- C-3-113 MEMSを用いたサージ光抑制器の開発(C-3. 光エレクトロニクス, エレクトロニクス1)
- 薄膜光検出器を用いた集積型粗微動変位センサ
- 電磁アクチュエータを用いた波長可変ファイバグレーティングフィルタの開発
- PSI法を用いた超音波モータの計測
- ストロボ位相シフト干渉法を用いた超音波モータの計測
- フォトサーマル励振されたマイクロカンチレバーを用いたメカニカルセンシング
- 光学式アクチュエータのための光ファイバーコアの光熱振動
- 光熱振動する光ファイバーコアの水中における共振特性
- MEMSを応用した投影型エンコーダの開発
- ファイバ型光制御デバイスのための三次元的微細加工
- 光ファイバの微細加工とファイバ型デバイスへの応用
- メモリ読み出し用ねじれ振動型AFMプローブに関する解析と製作
- ストロボ法を用いた超音波モータ表面の縞走査干渉画像計測
- 光通信用シリコン導波路MEMS (特集 光で/を動かす技術)
- 精密プレス成形による導光板端面への回折格子の製作
- 光通信用ナノマシン (特集 光マイクロ・ナノマシン)
- ナノフォトニクスデバイス制御用薄型櫛歯静電アクチュエータの製作
- シリコン光MEMS (特集 新たな地平に向かうシリコンフォトニクス)
- 集積型光エンコーダの開発 : 間隙不感型光学系の設計とセンサの製作
- 522 静電アクチュエータを用いた可変スラブによるフォトニック結晶光スイッチの製作(ロボティクス,2.学術講演)
- シリコンマイクロマシニングと集積化技術
- 回折格子表面からの熱放射スペクトルへの複素屈折率温度依存性の影響(熱工学I-2)
- 523 櫛歯電極型静電アクチュエータを用いた大変位XYステージ(ロボティクス,2.学術講演)
- 金属表面上への回折格子パターンのリソグラフィ転写による光エンコーダの提案
- 1515 周期的表面微細構造による高融点金属からの熱放射スペクトル制御
- 光と周期的表面構造との共鳴効果を利用したスペクトル選択性熱放射表面の創製
- サブミクロン周期の表面微細構造を有する太陽光選択吸収材料の研究
- Siの高アスペクト比エッチングによる光センサ部品の製作
- Si薄膜上に製作した透過型ポジションセンサ
- シリコン異方性エッチングを用いた微小共振器の研究
- 141 モールドプロセスを用いた高分子導波路と微細周期構造の製作
- CI-1-5 MEMSデバイスを用いた光路切り替えスイッチ(CI-1.ナノフォトニクス技術のアクションアイテムズ,依頼シンポジウム,シンポジウムセッション)
- レジストスプレーコーティングの特性と反応
- 428 ドライエッチングした結晶Si壁面の平坦化と光応用(光メカトロニクスI)(OS.6 ナノ構造創成をめざす光メカトロニクスの展開)
- GaN発光素子とSi-MEMSの融合を目指して (特集 進展するMEMS技術--様々なアプリケーションに向けて)
- 曲げモーメント駆動による焦点可変放物面ミラーの設計と製作
- ナノテク最前線 光MEMSの新展開:サブ波長光学のためのMEMS
- W2 光MEMS開発の現状と材料力学的評価技術の必要性(技術ワークショップ『MEMS開発の最新動向と材料力学への期待』)
- MEMS可動型シリコン細線カプラー導波路スイッチ (特集 光MEMS技術の新展開)
- ナノテク最前線 高機能マイクロミラーデバイス--小型かつ付加価値の高いミラーデバイスへの試み
- 細いフレームを持つ焦点可変ミラーの SOI ウエハ残留応力による変形
- 201 周期的な表面微細構造によるWの熱放射スペクトル制御とTPV発電への応用(学生賞セッションI)
- 高速原子ビームエッチングによるナノメートル無反射構造の作製 (特集 ナノ・フォトニクス)
- サブ波長周期の反射防止構造を有する発光ダイオードの光学特性
- ストロボ位相シフト干渉法を用いた過渡振動分布計測
- ストロボ位相シフト干渉法を用いたUSMの過渡振動計測
- ストロボ位相シフト干渉法を用いたマイクロデバイス表面の過渡振動分布計測
- ストロボ位相シフト干渉を用いた高速過渡現象の可視化
- 有限要素法による電磁駆動式マイクロミラーの磁場-構造連成解析
- 引張応力のあるトーションバーを用いた静電駆動型ミラーデバイス
- Si基板折り曲げにより実現する立体的マイクロ光学ベンチ
- 立体的マイクロマシニングのためのレジストスプレーコーティング
- 光ファイバを利用した光熱振動型センサ
- 光ファイバを用いたレーザ駆動マイクロメカニカルセンサ
- 宇宙の神秘に挑む「すばる」望遠鏡 国際天文台ハワイ観測所を訪ねて
- 水素アニールによるSiエッチング加工面のラフネス低減
- サブ波長構造による構造色利用反射型3原色カラーフィルタの製作
- 透過型フォトダイオードの開発と光計測
- レジスト噴霧法による3次元リソグラフィの開発と光ファイバ端面加工への応用
- マイクロマシニングによるメカトロニクス用フォトダイオードの開発
- 円柱面転動リソグラフィ装置の開発
- 自立微細回折格子を用いた原子干渉計の設計と製作
- 19.11.マイクロメカトロニクス(19.情報・精密機械)(機械工学年鑑)
- 19.12.マイクロメカトロニクス(19.情報・精密機械)(機械工学年鑑)
- 19.12 マイクロメカトロニクス(19.情報・精密機械)
- 光通信マイクロマシン 光スイッチ,可変フィルタなどを中心に
- 光応用計測
- SPIE 1999 Symposium on Micromachining and Microfabrication国際会議報告
- 18.5メカノプティクス(18.ロボティクス・メカトロニクス)
- 1-1 導波モード共鳴格子フィルタを用いた画像分光(第1部門 センシング&コンシューマエレクトロニクス&ストレージ)
- マイクロアクチュエータを用いた間隙可変シリコンカプラースイッチの特性評価
- 水素アニールによるラフネス低減における雰囲気依存性
- 超小型アクチュエータを用いた光導波路カプラスイッチ(トピックス)