シリコン光MEMS (特集 新たな地平に向かうシリコンフォトニクス)
スポンサーリンク
概要
著者
関連論文
- 配線やデバイスの立体化に可能性を開く3次元フォトリソグラフィ : (2)露光(講座「ちょっとMEMS」第9回)
- Compact Triangulation Sensor Realized by Bending Si Wafer with Optical Elements at Metal Hinges
- 配線やデバイスの立体化に可能性を開く3次元フォトリソグラフィ : (1)成膜(講座「ちょっとMEMS」第8回)
- アセンブリを支援するMEMS構造(講座「ちょっとMEMS」第7回)
- MEMSデバイス製作とアセンブリをマッチングする試み(講座「ちょっとMEMS」第6回)
- 高密度プラズマの光マイクロマシンへの応用(高密度プラズマとその応用技術の最前線)
- Tunable Vertical Comb for Driving Micromirror Realized by Bending Device Wafer(Micro/Nano Photonic Devices,Microoptomechatronics)
- Micromirror with Two Parallel Rotation Axes for External Cavity Diode Laser(Micro/Nano Photonic Devices,Microoptomechatronics)
- 光通信デバイスのためのMEMS (特集 光ネットワーク時代の光技術)
- MEMS構造を利用した光集積型センサ