光ファイバの微細加工とその応用
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概要
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An optical fiber will be the key device for the future information age, and the fiber sensor is also effective for physical sensing of density or viscosity in special environments such as explosive gas or valuabele liquid. We have developed micromachining technique for optical fibers in order to fabricate micro-physical sensors or fiber devices for optical communications. In this article, we briefly describe the following micromachining techniques for the optical fiber: 1) the wet etching technique using hydrofluoric acid, 2) the reactive ion etching using carbon fluoride gas, 3) micromachining using high power laser and laser-assisted fabrication method, 4) micromachining using femtosecond laser pulses. Applications to micro-physical sensors and optical filter are also presented.
- 岐阜工業高等専門学校の論文
- 2004-03-01
著者
-
稲葉 成基
岐阜工業高等専門学校電気工学科
-
熊崎 裕教
岐阜工業高等専門学校電気工学科
-
稲葉 成基
岐阜工業高等専門学校
-
羽根 一博
東北大学工学部機械電子工学科
-
Hane Kazuhiro
Department Of Mechatronics & Precision Engineering Tohoku University
-
井上 文彬
岐阜工業高等専門学校専攻科電子システム工学専攻
-
中島 健作
岐阜工業高等専門学校専攻科電子システム工学専攻
-
羽根 一博
東北大学大学院
-
羽根 一博
東北大学大学院工学研究科
-
熊崎 裕教
岐阜工業高等専門学校電気情報工学科
-
稲葉 成基
岐阜工業高等専門学校電気情報工学科
-
熊崎 裕教
岐阜工業高等専門学校
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