光駆動マイクロメカニカルセンサーおよびアクチュエータ
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概要
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半導体レーザと光ファイバーを用いた光駆動のセンサーおよびアクチュエータについて報告する。光ファイバーの先端を微細加工して、片持ち梁をファイバーに直結して製作した。片持ち梁を光熱振動させるための光学的結合か簡便になり、効率的に励振できる。圧力、粘度および,膜厚センサーへの応用について報告する。次に、光ファイバー先端に光駆動のグリッパを試作し、その特性を測定した。把持力を大きくするために形状記憶合金を用いている。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-04-19
著者
-
稲葉 成基
岐阜工業高等専門学校電気工学科
-
熊崎 裕教
岐阜工業高等専門学校電気工学科
-
稲葉 成基
岐阜工業高等専門学校
-
羽根 一博
東北大学工学部機械電子工学科
-
島村 暁
岐阜工業高等専門学校電気工学科
-
熊崎 裕教
岐阜工業高等専門学校電気情報工学科
-
稲葉 成基
岐阜工業高等専門学校電気情報工学科
-
熊崎 裕教
岐阜工業高等専門学校
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