ファイバカップリング装置型薄板ガラス振動子を用いた光学式膜厚測定
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概要
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We propose a thin glass vibrator which is installed with micro-ball lens in PC connector as a photothermal vibrating type sensor. The vibrator was fabricated from a cover glass with accuracy of about 50 μm by ultrasound. In deposition process using an ion sputtering apparatus, continuous measurements of the resonance frequencies were possible without adjustments of an optical system. Resonance frequencies of the vibrator with 5 mm in length and 2 mm in width decreased from 3.280 kHz to 3.243 kHz during deposition thickness increase of 500 nm of Au. Possibility of practical use of a low price optical sensor was shown for measurement of depositon thickness.
- 日本真空協会の論文
- 1998-03-20
著者
-
熊崎 裕教
岐阜工業高等専門学校電気工学科
-
稲葉 成基
岐阜工業高等専門学校
-
羽根 一博
東北大学工学部機械電子工学科
-
熊崎 裕教
岐阜工業高等専門学校電気情報工学科
-
稲葉 成基
岐阜工業高等専門学校電気情報工学科
-
熊崎 裕教
岐阜工業高等専門学校
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