光熱効果により駆動された小型ポンプ
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概要
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小型あるいは超小型のポンプは液体の化学分析等の分野において必要であり、これまでにいくつかのポンプが提案されている。実用的なものもあるが、いずれも電気的に駆動されるものである。光学式にポンプを駆動できれば電気分解などの損傷を与えることなく液体中でも使用できるので有用である。一方、光熱効果によれば物体に非接触で振動を発生させることができ、センサーやアクチュエータへの応用が提案されている。本研究では形状記憶合金を用いたアクチュエータを試作して、通常の光熱振動よりも大きな振幅と発生力を実現し、これによって小型の水流ポンプを駆動したので報告する。
- 1994-09-26
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