光ファイバコアの片持ち梁振動を利用したフォトメカニカルセンサおよびアクチュエータ
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概要
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光ファイバー先端のクラッドを除去し、石英コアの小型の片持ち梁を製作した。半導体レーザ光によってこの片持ち梁を光熱振動させ、メカニカルセンサーおよびアクチュエータとしての特性を測定した。10^2から10^5Paの圧力が光学式に測定可能である。気体中および液体中において共振特性の温度依存性を測定した。長さ20mmの片持ち梁の変位は120μm、遮断周波数は3Hz、発生力は0.4μNである。2本の石英コアの片持ち梁を用いて光学式マイクロピンセットを試作し直径20μmのポリスチレンラテックス球を把持した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-06-16
著者
-
稲葉 成基
岐阜工業高等専門学校電気工学科
-
熊崎 裕教
岐阜工業高等専門学校電気工学科
-
稲葉 成基
岐阜工業高等専門学校
-
羽根 一博
東北大学工学部機械電子工学科
-
島村 暁
岐阜工業高等専門学校電気工学科
-
熊崎 裕教
岐阜工業高等専門学校電気情報工学科
-
稲葉 成基
岐阜工業高等専門学校電気情報工学科
-
熊崎 裕教
岐阜工業高等専門学校
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