変調周期の回折格子を用いた光学式エンコーダ(第3報) : 高次ひずみ信号成分の除去
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
Signal intensity of the light diffracted from the superimposed dual transmission gratings is affected by the higher harmonic distortion (deviation from sinusoidal variation). In this study, the method using the modulated pitch grating that was proposed preciously was extended to more general conditions. The design method for modulating the grating was analyzed in detail and the distortions in the order up to the 13th were removed in the experiment using the proposed grating.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 2000-07-05
著者
関連論文
- 配線やデバイスの立体化に可能性を開く3次元フォトリソグラフィ : (2)露光(講座「ちょっとMEMS」第9回)
- 配線やデバイスの立体化に可能性を開く3次元フォトリソグラフィ : (1)成膜(講座「ちょっとMEMS」第8回)
- アセンブリを支援するMEMS構造(講座「ちょっとMEMS」第7回)
- MEMSデバイス製作とアセンブリをマッチングする試み(講座「ちょっとMEMS」第6回)
- 高密度プラズマの光マイクロマシンへの応用(高密度プラズマとその応用技術の最前線)
- Tunable Vertical Comb for Driving Micromirror Realized by Bending Device Wafer(Micro/Nano Photonic Devices,Microoptomechatronics)
- Micromirror with Two Parallel Rotation Axes for External Cavity Diode Laser(Micro/Nano Photonic Devices,Microoptomechatronics)
- 光通信デバイスのためのMEMS (特集 光ネットワーク時代の光技術)
- MEMS構造を利用した光集積型センサ
- 位相シフトマスクを利用した立体サンプルの露光法
- 位相シフトマスクを利用した立体サンプルへの微細パターン露光法
- 分割した櫛歯電極型静電駆動アクチュエータ
- リットマン型外部共振器波長可変レーザ用ミラーデバイスの開発
- (2)細胞の力学特性計測のためのレーザ顕微鏡組込み型原子間力顕微鏡(AFM)システムの開発(論文,日本機械学会賞〔2004年度(平成16年度)審査経過報告〕)
- 近赤外光用サブ波長反射防止構造の光学設計および自己組織化ナノ微粒子を用いた製作
- 集光用可変ミラーの変形に及ぼす支持フレームの影響
- シリコン技術
- シンクロナスリラクタンスモータの磁束鎖交数を用いたインダクタンス算定法とモデル化の提案
- スリット回転子を用いたシンクロナスリラクタンスモータの力率・トルク向上に関する検討
- スリット回転子を用いたリラクタンスモータの力率・トルク向上に関する検討
- スリット回転子を用いたリラクタンスモータのトルクリップル低減法
- スリット回転子を用いたフラックスバリア型リラクタンスモータの磁界解析と試作実験
- Hexapod型パラレルメカニズム工作機械の精度向上に関する研究(第1報) : 重力の影響の少ない条件下での精度キャリブレーション
- シリコン基板上の酸化ハフニウム膜の窒化によるバッファ層の形成とGaN結晶の成長
- 光MEMSのためのSi基板上GaN量子井戸結晶のMBE成長
- SOIウエハから製作されたミラーの形状測定と応力解析
- 偏重型フォトダイオードアレイを用いた絶対位置検出光エンコーダ
- 1126 変調型のフォトダイオードアレイを用いた絶対位置計測用光エンコーダ
- 変調周期の回折格子を用いた光学式エンコーダ(第3報) : 高次ひずみ信号成分の除去
- 一回転整合円筒面回転リソグラフィ装置の開発
- 変調型フォトダイオードを用いた光学式エンコーダ
- 変調周期の回折格子を用いた光学式エンコーダ(第2報) : 理論解析
- 変調周期の回折格子を用いた光学式エンコーダ(第1報) : 実験的評価
- 変調周期の回折格子を用いた光学式エンコーダ (第2報 : 理論解析)
- ナノインプリント法による光ファイバ端面への反射防止サブ波長構造の製作
- エンコーダの光学と集積化
- サブ波長周期格子を用いたチューナブルデバイス
- 光MEMSの記録システムへの応用(「MEMSテクノロジー-最新動向と今後の展望-」)
- レーザ干渉計を用いたNC工作機械の円運動測定法の開発
- サブ波長格子 : バイオミメティック構造からフォトニックデバイスへ
- C-3-113 MEMSを用いたサージ光抑制器の開発(C-3. 光エレクトロニクス, エレクトロニクス1)
- 薄膜光検出器を用いた集積型粗微動変位センサ
- 電磁アクチュエータを用いた波長可変ファイバグレーティングフィルタの開発
- ストロボ位相シフト干渉法を用いた超音波モータの振動計測
- PSI法を用いた超音波モータの計測
- ストロボ位相シフト干渉法を用いた超音波モータの計測
- Optical Encoder Having Pitch-Modulated Photodiode Array
- 光駆動マイクロメカニカルセンサーおよびアクチュエータ
- 光ファイバコアの片持ち梁振動を利用したフォトメカニカルセンサおよびアクチュエータ
- 投影型エンコーダの集積化に関する研究
- MEMSを応用した投影型エンコーダの開発
- ファイバ型光制御デバイスのための三次元的微細加工
- 光ファイバの微細加工とその応用
- 光ファイバの微細加工とファイバ型デバイスへの応用
- 反応性イオンエッチングによる光ファイバの微細加工
- 光トラップ法と光造形法を用いたマイクロ構造物の製作
- ストロボ位相シフト干渉法を用いた高周波微小振動分布の可視化
- ストロボ干渉法を用いた超音波モータ表面の振動分布計測
- 半導体パルスレーザを用いた微小振動分布の縞走査干渉画像計測
- Improved Automatic Alignment of Pinhole Integrated with Photodiode
- 同心円型回折格子を用いた回転体における光信号伝送の一検討
- Tunable Fiber Bragg Grating Combined with Microactuator
- 光通信用シリコン導波路MEMS (特集 光で/を動かす技術)
- 精密プレス成形による導光板端面への回折格子の製作
- 光通信用ナノマシン (特集 光マイクロ・ナノマシン)
- ナノフォトニクスデバイス制御用薄型櫛歯静電アクチュエータの製作
- シリコンマイクロマシニングと集積化技術
- 光MEMS用マイクロアクチュエータ(情報機器と光関連技術,W17 情報・知能・精密機器部門)
- 光マイクロマシンと集積化
- MEMS技術による光学システムの集積化--集積化を目指したMEMSと光学システムの組み合わせについて
- 光 MEMSのための表面微細加工と集積化技術
- Fabrication of High-Accuracy Microtranslation Table for Near-Field Optical Data Storage Actuated by Inverted Scratch-Drive Actuators
- 1125 薄膜フォトダイオードを用いた小型精密距離センサ
- マイクロ干渉計用薄膜光センサの光検出特性
- Cantilever Probe Integrated with Light-Emitting Diode, Waveguide, Aperture, and photodiode for Scanning Near-Field Optical Microscope
- バッテリレス多回転検出方式の超高分解機能小型アブソリュートエンコーダの開発(1999年度(第19回)精密工学会技術賞)
- Fabrication of Hollow Cylinder Shape Permalloy on the Si Pole
- 523 櫛歯電極型静電アクチュエータを用いた大変位XYステージ(ロボティクス,2.学術講演)
- 金属表面回折格子を用いた光エンコーダ
- 1515 周期的表面微細構造による高融点金属からの熱放射スペクトル制御
- Fabrication of grating couplers using submicron silicon mold
- Anisotropically Etched Si Mold for Solid Polymer Dye Microcavity Laser
- Siによる周期可変回折格子
- 回折格子原子波干渉計の伝達関数による解析
- シリコン異方性エッチングを用いた微小共振器の研究
- 141 モールドプロセスを用いた高分子導波路と微細周期構造の製作
- 鋳型のプロセスによるブラッググレーティングの開発
- CI-1-5 MEMSデバイスを用いた光路切り替えスイッチ(CI-1.ナノフォトニクス技術のアクションアイテムズ,依頼シンポジウム,シンポジウムセッション)
- 近接場光学/ナノ光学のさらなる発展を
- 光マイクロマシンの物理
- LED光源を一体化した近視野顕微鏡用導波路カンチレバー
- ハイアスペクト比の超微細格子の製作と光部品への応用
- 同軸レーザビームの走査による物体の形状抽出法
- 輪郭強調機能を持つレーザ走査型物体形状抽出法
- ファイバカップリング装置型薄板ガラス振動子を用いた光学式膜厚測定
- 膜厚測定のためのレーザ駆動ファイバコア振動子のサイズ効果
- レジスト噴霧法による光ファイバ端面のリソグラフィ加工
- 2方向性形状記憶効果を持つNiTi箔のアクチュエータへの応用
- 光クロスコネクト用マイクロミラー
- 光ファイバのコアの光熱振動を利用した圧力センサ