エンコーダの光学と集積化
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
Optics for encoders is studied from the point of view of signal improvement and miniaturization. Basis of optical encoder is the superposition of two gratings. Moire encoder consisting of two superimposed gratings is simple but the encoder signal is often affected by the variation of air gap due to the Fourier image effect. In this paper, basic optics of the encoders is summarized and some advanced optics for the Moire encoders are explained to suppress the influence.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2007-09-01
著者
関連論文
- 配線やデバイスの立体化に可能性を開く3次元フォトリソグラフィ : (2)露光(講座「ちょっとMEMS」第9回)
- 配線やデバイスの立体化に可能性を開く3次元フォトリソグラフィ : (1)成膜(講座「ちょっとMEMS」第8回)
- アセンブリを支援するMEMS構造(講座「ちょっとMEMS」第7回)
- MEMSデバイス製作とアセンブリをマッチングする試み(講座「ちょっとMEMS」第6回)
- 高密度プラズマの光マイクロマシンへの応用(高密度プラズマとその応用技術の最前線)
- Tunable Vertical Comb for Driving Micromirror Realized by Bending Device Wafer(Micro/Nano Photonic Devices,Microoptomechatronics)
- Micromirror with Two Parallel Rotation Axes for External Cavity Diode Laser(Micro/Nano Photonic Devices,Microoptomechatronics)
- 光通信デバイスのためのMEMS (特集 光ネットワーク時代の光技術)
- MEMS構造を利用した光集積型センサ
- 位相シフトマスクを利用した立体サンプルの露光法
- 位相シフトマスクを利用した立体サンプルへの微細パターン露光法
- 分割した櫛歯電極型静電駆動アクチュエータ
- リットマン型外部共振器波長可変レーザ用ミラーデバイスの開発
- (2)細胞の力学特性計測のためのレーザ顕微鏡組込み型原子間力顕微鏡(AFM)システムの開発(論文,日本機械学会賞〔2004年度(平成16年度)審査経過報告〕)
- 近赤外光用サブ波長反射防止構造の光学設計および自己組織化ナノ微粒子を用いた製作
- 集光用可変ミラーの変形に及ぼす支持フレームの影響
- シリコン技術
- シリコン基板上の酸化ハフニウム膜の窒化によるバッファ層の形成とGaN結晶の成長
- 光MEMSのためのSi基板上GaN量子井戸結晶のMBE成長
- SOIウエハから製作されたミラーの形状測定と応力解析
- 偏重型フォトダイオードアレイを用いた絶対位置検出光エンコーダ
- 1126 変調型のフォトダイオードアレイを用いた絶対位置計測用光エンコーダ
- 変調周期の回折格子を用いた光学式エンコーダ(第3報) : 高次ひずみ信号成分の除去
- 一回転整合円筒面回転リソグラフィ装置の開発
- 変調型フォトダイオードを用いた光学式エンコーダ
- ナノインプリント法による光ファイバ端面への反射防止サブ波長構造の製作
- エンコーダの光学と集積化
- サブ波長周期格子を用いたチューナブルデバイス
- 光MEMSの記録システムへの応用(「MEMSテクノロジー-最新動向と今後の展望-」)
- サブ波長格子 : バイオミメティック構造からフォトニックデバイスへ
- C-3-113 MEMSを用いたサージ光抑制器の開発(C-3. 光エレクトロニクス, エレクトロニクス1)
- 薄膜光検出器を用いた集積型粗微動変位センサ
- 電磁アクチュエータを用いた波長可変ファイバグレーティングフィルタの開発
- ストロボ位相シフト干渉法を用いた超音波モータの振動計測
- PSI法を用いた超音波モータの計測
- ストロボ位相シフト干渉法を用いた超音波モータの計測
- Optical Encoder Having Pitch-Modulated Photodiode Array
- 投影型エンコーダの集積化に関する研究
- MEMSを応用した投影型エンコーダの開発
- ファイバ型光制御デバイスのための三次元的微細加工
- 光ファイバの微細加工とその応用
- 光ファイバの微細加工とファイバ型デバイスへの応用
- 反応性イオンエッチングによる光ファイバの微細加工
- 光トラップ法と光造形法を用いたマイクロ構造物の製作
- Improved Automatic Alignment of Pinhole Integrated with Photodiode
- Tunable Fiber Bragg Grating Combined with Microactuator
- 光通信用シリコン導波路MEMS (特集 光で/を動かす技術)
- 精密プレス成形による導光板端面への回折格子の製作
- 光通信用ナノマシン (特集 光マイクロ・ナノマシン)
- ナノフォトニクスデバイス制御用薄型櫛歯静電アクチュエータの製作
- シリコンマイクロマシニングと集積化技術
- 光MEMS用マイクロアクチュエータ(情報機器と光関連技術,W17 情報・知能・精密機器部門)
- 光マイクロマシンと集積化
- MEMS技術による光学システムの集積化--集積化を目指したMEMSと光学システムの組み合わせについて
- 光 MEMSのための表面微細加工と集積化技術
- Fabrication of High-Accuracy Microtranslation Table for Near-Field Optical Data Storage Actuated by Inverted Scratch-Drive Actuators
- 1125 薄膜フォトダイオードを用いた小型精密距離センサ
- マイクロ干渉計用薄膜光センサの光検出特性
- Cantilever Probe Integrated with Light-Emitting Diode, Waveguide, Aperture, and photodiode for Scanning Near-Field Optical Microscope
- Fabrication of Hollow Cylinder Shape Permalloy on the Si Pole
- 523 櫛歯電極型静電アクチュエータを用いた大変位XYステージ(ロボティクス,2.学術講演)
- 1515 周期的表面微細構造による高融点金属からの熱放射スペクトル制御
- Fabrication of grating couplers using submicron silicon mold
- Anisotropically Etched Si Mold for Solid Polymer Dye Microcavity Laser
- Siによる周期可変回折格子
- シリコン異方性エッチングを用いた微小共振器の研究
- 141 モールドプロセスを用いた高分子導波路と微細周期構造の製作
- 鋳型のプロセスによるブラッググレーティングの開発
- CI-1-5 MEMSデバイスを用いた光路切り替えスイッチ(CI-1.ナノフォトニクス技術のアクションアイテムズ,依頼シンポジウム,シンポジウムセッション)
- レジストスプレーコーティングの特性と反応
- 428 ドライエッチングした結晶Si壁面の平坦化と光応用(光メカトロニクスI)(OS.6 ナノ構造創成をめざす光メカトロニクスの展開)
- GaN発光素子とSi-MEMSの融合を目指して (特集 進展するMEMS技術--様々なアプリケーションに向けて)
- 曲げモーメント駆動による焦点可変放物面ミラーの設計と製作
- ナノテク最前線 光MEMSの新展開:サブ波長光学のためのMEMS
- W2 光MEMS開発の現状と材料力学的評価技術の必要性(技術ワークショップ『MEMS開発の最新動向と材料力学への期待』)
- Basic Studies of Fiber-Optic MEMS for Telecommunication Using Three Dimensional Micromachining(Special Issue on Integrated Systems with New Concepts)
- LED光源を一体化した近視野顕微鏡用導波路カンチレバー
- MEMS可動型シリコン細線カプラー導波路スイッチ (特集 光MEMS技術の新展開)
- ナノインプリント法による光ファイバ端面への反射防止サブ波長構造の製作
- ナノテク最前線 高機能マイクロミラーデバイス--小型かつ付加価値の高いミラーデバイスへの試み
- ナノテク最前線 光学系一体型の近接場光プローブ
- 研究室紹介 東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻メカノプティクス分野--光集積とメカノプティクス
- 細いフレームを持つ焦点可変ミラーの SOI ウエハ残留応力による変形
- 光 MEMS の情報デバイスへの展開
- 光でつくるマイクロ・ナノ機械:光リソグラフィによる立体加工 (特集 光ナノ加工)
- WS-06 NANO/MICRO-TECHNOLOGIES FOR HIGH DENSITY DATA-STORAGE AND OPTICAL APPLICATIONS
- Subwavelength Antirefiection Gratings for Light Emitting Diodes and Photodiodes Fabricated by Fast Atom Beam Etching
- サブ波長周期の反射防止構造を有する発光ダイオードの光学特性
- ハイアスペクト比の超微細格子の製作と光部品への応用
- ストロボ位相シフト干渉法を用いた過渡振動分布計測
- ストロボ位相シフト干渉法を用いたUSMの過渡振動計測
- Two-Dimensional Control of Shape-Memory-Alloy Actuators for Aligning a Si Micromachined Pinhole of Spatial Filter
- 計算機合成フレネルホログラムによる三次元露光
- 引張応力のあるトーションバーを用いた静電駆動型ミラーデバイス
- 細胞の力学特性計測のためのレーザ顕微鏡組込み型原子間力顕微鏡(AFM)システムの開発(機械力学,計測,自動制御)
- SC-10-3 マイクロマシニングによる集積型光学システムの制作
- Si基板折り曲げにより実現する立体的マイクロ光学ベンチ
- Interferometers based on standing wave detection using thin film photodiodes
- ノーベル化学賞の背景と工学技術(精密工学の最前線株式会社島津製作所)
- 集積化に適した干渉型変位センサ