マイクロマシンの浮揚に関する基礎的研究
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
We describe the structure of a micromachine, and preliminary experimental results. The micromachine, which consists of a piezoelectric element and two masses, can jump or levitate on a flat surface. The micromachine jumps by the rectangular voltage applied to the piezo, and levitates by the sinusoidal voltage. The height of the jump and the levitation is discussed by the use of some different experimental conditions. The height of the jump of the micromachine is about 10 μm by using a rectangular voltage. The micromachine levitates in about 10 μm by the use of a sinusoidal waveform. The jump and levitation of the micromachine are measured with a displacement sensor, an optical microscope, and an electrical circuit.
- 愛知工業大学の論文
著者
-
鳥井 昭宏
愛知工業大学 工学部 電気学科
-
植田 明照
愛知工業大学 工学部 電気学科
-
植田 明照
愛知工大
-
植田 明照
愛知工業大学工学部
-
坂野 正昭
愛知工業大学工学部
-
鳥井 昭宏
愛知工業大学
-
植田 明照
愛知工業大学
関連論文
- 自走可能な小形スチュワートプラットフォーム機構
- 風力発電装置の系統連系におけるACリンクとDCリンクの一考察
- スクイーズ膜効果を用いたミニチュアロボット浮上量推定とその応用
- PQ(有効電力・無効電力)の独立制御による自立配電網内の電力品質維持
- 太陽光発電パネルを用いた産業機器駆動の可能性--積層型圧電アクチュエータの変位
- 入出力端のLCフィルタを考慮した交流チョッパ回路の特性解析
- 昇降圧形交流チョッパにおける制御特性の検討
- 分散型電源を用いた無停電電力供給システムにおける電力品質
- 鉛直振動による浮上を用いたインチワーム型移動機構 (特集 電気関係学会東海支部連合大会)
- PQ独立制御による自立配電網内の電力品質維持(第2報)
- 回折モアレ信号を用いた超精密位置決め装置の精度
- 回析モアレ技法による角度位置決め装置の動作特性
- pq理論と移動平均ハイパスフィルタを用いたアクティブフィルタの高調波電流検出法
- すり足動作する三足ロボットの制御法
- 振動を用いて浮上するマイクロロボットの平面移動
- マイクロマシンの浮揚に関する基礎的研究
- 処理時間の変更が可能な自律移動ロボットの自己位置推定
- 圧電素子を用いた多自由度マイクロロボットの構造と動作
- 卓上生産システム用小形移動ロボットの位置計測システム
- マイクロロボットのための可動灯台を用いた位置計測の誤差補正
- ミニチュアロボットの位置計測
- ミニチュアロボット用マクロ・マイクロ位置計測システム
- ミニチュアロボットの移動計画
- デスクトップファクトリ用ミニチュアロボットの変位計測(プロジェクト研究)
- 遺伝的アルゴリズムを用いたマッチング時間が可変な画像テンプレート生成(視覚移動ロボット)
- 自走可能な小形スチュワートプラットフォーム機構
- 間接的評価値推論を用いた遺伝的アルゴリズムによる自己位置推定用画像テンプレートの高速生成
- 機能性レーザ加工技術の開発と産業応用に関する研究
- 自律移動ロボットの実時間行動獲得に適した環境表現方法
- マイクロロボットの3次元位置計測
- 自己位置推定用環境情報重要度テーブルの生成法
- PSD を搭載したミニチュアロボットの位置姿勢計測
- ストロボ位相シフト干渉法を用いた超音波モータの振動計測
- PSI法を用いた超音波モータの計測
- ストロボ位相シフト干渉法を用いた超音波モータの計測
- モアレ信号を用いた超精密角度位置決め
- 回折モアレ光を用いた超精密位置決め技法とその精度
- 回折モアレ法によるナノメータ精度アライメント
- 圧電素子の急速変形を利用したマイクロロボットの速度特性(第2報):周波数依存性
- 方形波電圧駆動形マイクロロボットの速度制御
- 圧電素子の変形により動作するマイクロロボット
- 電磁石を用いたマイクロロボットの速度特性
- ディジタル速度制御によるマイクロロボットの高速化
- 状況と行動の因果関係に着目した人間の行動モデル化手法 : —多次元時系列信号で表現された状況と離散事象で表現された行動の場合—
- 単相昇圧形高力率コンバータの出力特性の解析
- 干渉計を用いた AFM エンコーダ
- 原子間力顕微法により得られる位置決め信号
- 新世紀におけるパワーエレクトロニクス教育を考える
- 鉛直振動による浮上を用いたインチワーム型移動機構
- 間接的評価値推論を用いた遺伝的アルゴリズムによる自己位置推定用画像テンプレートの高速生成
- 直列形電圧補償装置におけるデッドタイム電圧による非線形性に関する検討
- 状況と行動の因果関係に着目した人間の行動モデル化手法 : 多次元時系列信号で表現された状況と離散事象で表現された行動の場合
- 傾斜面におけるマイクロロボットの動作
- -石昇圧形整流回路における交流側LCフィルタの設計に関する-考察
- 電磁力の吸着力を利用した圧電マイクロロボット
- 回折格子の周期を基準にしたAFMエンコーダ
- ステージ一体型マイクロロボット
- 電磁石を用いた小型自走アクチュエータ
- 電磁石と圧電素子を用いた精密位置決め用アクチュエータ
- 渦電流変位センサの構造と検出精度
- 圧電素子と電磁石を用いた精密位置決め用小型ロボット
- ストロボ位相シフト干渉法を用いた過渡振動分布計測
- 原子間力顕微鏡を用いたエンコーダ
- 電磁石と圧電素子を用いたインチワームの電磁力と微小変位の検討
- 一石全共振ZCSフライバック形コンバータの特性検討
- 圧電素子と電磁石を用いたXYΘアクチュエータ
- 電流共振スイッチを用いた-石昇圧形整流回路
- 原子間力顕微鏡を用いた位置計測装置
- ストロボ位相シフト干渉法を用いたUSMの過渡振動計測
- 渦電流を用いた変位センサ
- ストロボ位相シフト干渉法を用いたマイクロデバイス表面の過渡振動分布計測
- 圧電素子と電磁石を用いたXYθアクチュエータ
- 静電型マイクロアクチュエータの摩擦力の検討
- ストロボ位相シフト干渉を用いた高速過渡現象の可視化
- 静電型マイクロアクチュエータの弾性変形の解析
- 電流共振スイッチを用いた一石昇圧形整流回路
- L字形プレートの弾性変形を用いたアクチュエータの動作解析
- 弾性変形によるマイクロアクチュエータの駆動原理
- L字形プレートの弾性変形によるマイクロアクチュエータの駆動原理
- 直列形電圧補償装置のデッドタイム電圧とインピーダンス電圧の抑制法
- 直列形電圧補償装置におけるLCRフィルタ設計法
- 直列形電圧補償装置のデッドタイム電圧とインピーダンス電圧の抑制法
- 直列形電圧補償装置における出力電圧非線形性とキャリア周波数決定法
- 鉛直振動による浮上を用いたインチワーム
- 「電気関係学会東海支部連合大会」—特集号によせて—
- インチワーム型多自由度ステージ
- 直列形電圧補償装置における出力電圧非線形性とキャリア周波数決定法