TiバリアメタルによるCu配線信頼性向上
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概要
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- 2007-07-12
著者
-
田上 政由
NECエレクトロニクスLSI基礎開発研究所
-
東 和幸
(株)東芝セミコンダクター社SoC研究開発センター高性能CMOSデバイス開発部
-
山口 人美
(株)東芝セミコンダクター社SoC研究開発センター高性能CMOSデバイス開発部
-
尾本 誠一
(株)東芝セミコンダクター社プロセス技術推進センター半導体プロセス開発第五部
-
坂田 敦子
(株)東芝セミコンダクター社プロセス技術推進センター半導体プロセス開発第五部
-
金子 尚史
(株)東芝セミコンダクター社
-
尾本 誠一
(株)東芝セミコンダクター社
-
山下 創一
(株)東芝セミコンダクター社
-
羽多野 正亮
(株)東芝セミコンダクター社
-
和田 純一
(株)東芝セミコンダクター社
-
用正 武
(株)東芝セミコンダクター社
-
今水 健太郎
(株)東芝セミコンダクター社
-
山田 雅基
(株)東芝セミコンダクター社
-
蓮沼 正彦
(株)東芝セミコンダクター社
-
高橋 新吾
ソニー(株)
-
山田 敦彦
ソニー(株)
-
長谷川 利昭
ソニー(株)
-
本山 幸一
NECエレクトロニクス(株)
-
北野 友久
NECエレクトロニクス(株)
-
坂田 敦子
(株)東芝セミコンダクター社
-
北野 友久
Necエレクトロニクス株式会社
-
山口 人美
(株)東芝セミコンダクター社
-
東 和幸
(株)東芝セミコンダクター社
-
本山 幸一
Necエレクトロニクス
-
北野 友久
NEC Electronics Corporation
-
北野 友久
日本電気(株)
-
金子 尚史
(株)東芝 Ul研
-
田上 政由
Necエレクトロニクス株式会社lsi基礎開発研究所
-
坂田 敦子
(株)東芝 研究開発センター デバイスプロセス開発センター
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