高性能Cu配線に向けたAlピラー技術
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概要
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- 1999-12-09
著者
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柴田 英毅
(株)東芝セミコンダクター社
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柴田 英毅
株式会社東芝セミコンダクター社
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柴田 英毅
(株)東芝 プロセス技術研究所
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松永 範昭
(株)東芝研究開発センターデバイスプロセス開発センター
-
梶田 明広
(株)東芝研究開発センターデバイスプロセス開発センター
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松永 範昭
東芝
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東 和幸
(株)東芝セミコンダクター社SoC研究開発センター高性能CMOSデバイス開発部
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東 和幸
(株)東芝セミコンダクター社
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松永 範昭
(株)東芝セミコンダクタ一社
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松永 範昭
(株)東芝 セミコンダクター社
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