低抵抗・高信頼Cu配線のためのシリサイドキャップ技術
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概要
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- 2010-01-29
著者
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柴田 英毅
(株)東芝セミコンダクター社
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柴田 英毅
株式会社東芝セミコンダクター社
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和田 真
(株)東芝研究開発センターデバイスプロセス開発センター
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松永 範昭
(株)東芝研究開発センターデバイスプロセス開発センター
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林 裕美
(株)東芝セミコンダクター社
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渡邉 桂
(株)東芝セミコンダクター社
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坂田 敦子
(株)東芝セミコンダクター社プロセス技術推進センター半導体プロセス開発第五部
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中尾 慎一
(株)東芝研究開発センターデバイスプロセス開発センター
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