フッ素樹脂による低誘電率化の検討
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概要
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- 1997-06-05
著者
-
門村 新吾
ソニー
-
長谷川 利昭
ソニー(株)
-
門村 新吾
ソニー(株)
-
深沢 正永
ソニー(株)
-
青山 純一
ソニー
-
青山 純一
超lsi研究所
-
青山 純一
ソニー(株)
-
深沢 正永
ソニー株式会社コアテクノロジー&ネットワークカンパニーlsi事業開発本部
-
門村 新吾
ソニー(株)ssncセミコンダクタテクノロジー開発本部プロセスプラットフォーム部門
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