門村 新吾 | ソニー

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概要

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関連著者

• 門村 新吾

  ソニー

• 門村 新吾

  ソニー(株)

• 門村 新吾

  ソニー(株)セミコンダクタカンパニー 超lsi研究所

• 門村 新吾

  ソニー(株)ssncセミコンダクタテクノロジー開発本部プロセスプラットフォーム部門

• 長谷川 利昭

  ソニー(株)

• 山本 亮

  ソニー(株)

• 斎藤 正樹

  ソニー(株)

• 長島 直樹

  ソニー株式会社

• 王 俊利

  ソニー(株)

• 平野 智之

  ソニー(株)

• 山口 晋平

  ソニー(株)

• 田井 香織

  ソニー(株)

• 長濱 嘉彦

  ソニー(株)

• 萩本 賢哉

  ソニー(株)

• 神田 さおり

  ソニー(株)

• 長野 香

  ソニー(株)

• 田川 幸雄

  ソニー(株)

• 岩元 勇人

  ソニー(株)

• 長島 直樹

  ソニー(株)

• 萩本 賢哉

  ソニー株式会社

• 岩元 勇人

  ソニー株式会社

• 館下 八州志

  ソニー(株)

• 安藤 崇志

  ソニー(株)

• 深沢 正永

  ソニー株式会社コアテクノロジー&ネットワークカンパニーlsi事業開発本部

• 若林 整

  NEC

• 若林 整

  NEC(株)システムデバイス研究所

• 若林 整

  NECラボラトリーズシステムデバイス・基礎研究本部シリコンシステム研究所

• 山本 雄一

  ソニー(株)

• 舘下 八州志

  ソニー(株)

• 宮波 勇樹

  ソニー(株)

• 釘宮 克尚

  ソニー(株)

• 若林 整

  ソニー(株)

• 塚本 雅則

  ソニー(株)

• 青山 純一

  ソニー

• 舘下 八州志

  ソニー(株) 半導体事業グループテクノロジー開発本部

• 池田 浩一

  ソニー株式会社コアテクノロジー&ネットワークカンパニーlsi事業開発本部

• 青山 純一

  超lsi研究所

• 青山 純一

  ソニー(株)

• 徳永 和彦

  ソニー株式会社コアテクノロジー&ネットワークカンパニーlsi事業開発本部

• 山村 育弘

  ソニー株式会社コアテクノロジー&ネットワークカンパニーlsi事業開発本部

• 宮田 幸児

  ソニー株式会社コアテクノロジー&ネットワークカンパニーlsi事業開発本部

• 鬼頭 英至

  ソニー株式会社コアテクノロジー&ネットワークカンパニーlsi事業開発本部

• 田口 充

  ソニー株式会社コアテクノロジー&ネットワークカンパニーlsi事業開発本部

• 駒井 尚紀

  ソニー株式会社コアテクノロジー&ネットワークカンパニーlsi事業開発本部

• 榎本 容幸

  ソニー株式会社

• 加藤 孝義

  ソニー(株)半導体事業グループ セミコンダクタテクノロジー開発本部

• 檜山 進

  ソニー(株)半導体事業グループ セミコンダクタテクノロジー開発本部

• Wang J.

  ソニー(株)半導体事業グループ セミコンダクタテクノロジー開発本部

• 山中 真由美

  ソニー(株)半導体事業グループ セミコンダクタテクノロジー開発本部

• 寺内 佐苗

  ソニー(株)半導体事業グループ セミコンダクタテクノロジー開発本部

• 館下 八州志

  ソニー(株)半導体事業グループ セミコンダクタテクノロジー開発本部

• 斉藤 正樹

  ソニー(株)半導体事業グループ セミコンダクタテクノロジー開発本部

• 長谷川 利昭

  ソニー株式会社 半導体事業グループ

• 山村 育弘

  ソニー株式会社

• 徳永 和彦

  ソニー株式会社コアテクノロジー&ネットワークカンパニーLSI事業開発本部

• 深沢 正永

  ソニー株式会社コアテクノロジー&ネットワークカンパニーLSI事業開発本部

• 鬼頭 英至

  ソニー株式会社コアテクノロジー&ネットワークカンパニーLSI事業開発本部

• 宮田 幸児

  ソニー株式会社コアテクノロジー&ネットワークカンパニーLSI事業開発本部

• 駒井 尚紀

  ソニー株式会社コアテクノロジー&ネットワークカンパニーLSI事業開発本部

• 田口 充

  ソニー株式会社コアテクノロジー&ネットワークカンパニーLSI事業開発本部

• 平野 信介

  ソニー株式会社コアテクノロジー&ネットワークカンパニーLSI事業開発本部

• 辰巳 徹也

  ソニー株式会社コアテクノロジー&ネットワークカンパニーLSI事業開発本部

• 門村 新吾

  ソニー株式会社コアテクノロジー&ネットワークカンパニーLSI事業開発本部

• 平野 信介

  ソニー株式会社コアテクノロジー&ネットワークカンパニーlsi事業開発本部

• 辰巳 徹也

  ソニー株式会社コアテクノロジー&ネットワークカンパニーlsi事業開発本部

• 徳永 和彦

  ソニー株式会社 コアデバイス開発本部

• 門村 新吾

  ソニー株式会社R&Dプラットフォームセミコンダクタテクノロジー開発部門

• 中村 直文

  株式会社半導体先端テクノロジーズ

• 柴田 英毅

  株式会社東芝セミコンダクター社

• 松永 範昭

  (株)東芝研究開発センターデバイスプロセス開発センター

• 梶田 明広

  (株)東芝研究開発センターデバイスプロセス開発センター

• 宮島 秀史

  (株)東芝セミコンダクター社

• 依田 孝

  (株)東芝セミコンダクター社

• 藤田 敬次

  東芝

• 伊藤 祥代

  東芝

• 蜂谷 貴世

  東芝

• 松永 範昭

  東芝

• 猪原 正弘

  東芝

• 上條 浩幸

  東芝

• 中田 錬平

  東芝

• 矢野 博之

  東芝

• 早坂 伸夫

  東芝

• 金村 龍一

  ソニー

• 藤田 敬次

  東芝セミコンダクターカンパニー

• 伊藤 祥代

  東芝セミコンダクターカンパニー

• 田渕 清隆

  ソニーセミコンダクターソリューションズネットワークカンパニー

• 蜂谷 貴世

  東芝セミコンダクターカンパニー

• 金村 龍一

  ソニーセミコンダクターソリューションズネットワークカンパニー

• 上條 浩幸

  東芝セミコンダクターカンパニー

• 中田 錬平

  東芝セミコンダクターカンパニー

• 早坂 伸夫

  東芝セミコンダクターカンパニー

• 藤田 繁

  ソニー株式会社

• 猪原 正弘

  東芝セミコンダクター社システムlsi事業部

• 矢野 博之

  (株)東芝セミコンダクター社

• 黛 哲

  ソニー(株)

• 山川 真弥

  ソニー(株)

• 中田 征志

  ソニー(株)

• 押山 到

  ソニー(株)

• 田中 和樹

  ソニー(株)

• 小川 浩二

  ソニー(株)

• 生田 哲也

  ソニー(株)

• 片岡 豊隆

  ソニー(株)

• 菊池 善明

  ソニー(株)

• 松本 良輔

  ソニー(株)

• 藤田 繁

  ソニー(株)

• 山根 千種

  ソニー(株)

• 木村 忠之

  ソニー(株)

• 大地 朋和

  ソニー(株)

• 齋藤 正樹

  ソニー(株)

• 深沢 正永

  ソニー(株)

• 島山 努

  ソニー(株)

• 秋山 和隆

  株式会社 東芝セミコンダクター社

• 東 和幸

  (株)東芝セミコンダクター社

• 川島 淳志

  ソニー(株)

• 宮本 孝章

  ソニー(株)セミコンダクタカンパニー 超LSI研究所

• 渡邉 桂

  (株)東芝研究開発センターデバイスプロセス開発センター

• 川島 淳志

  ソニー(株)セミコンダクタカンパニー 超lsi研究所

• 本多 健二

  東芝セミコンダクター社システムlsi事業部

• 宮島 秀史

  東芝

• 渡邉 桂

  東芝

• 秋山 和隆

  東芝

• 東 和幸

  東芝

• 中村 直文

  東芝

• 梶田 明広

  東芝

• 本多 健二

  東芝

• 柴田 英毅

  東芝

• 依田 孝

  東芝

• 田渕 清隆

  ソニー

• 島山 努

  ソニー

• 榎本 容幸

  ソニー

• 長谷川 利昭

  ソニー

• 宮島 秀史

  東芝セミコンダクターカンパニー

• 渡邉 桂

  東芝セミコンダクターカンパニー

• 島山 努

  ソニーセミコンダクターソリューションズネットワークカンパニー

• 秋山 和隆

  東芝セミコンダクターカンパニー

• 東 和幸

  東芝セミコンダクターカンパニー

• 中村 直文

  東芝セミコンダクターカンパニー

• 梶田 明広

  東芝セミコンダクターカンパニー

• 松永 範昭

  東芝セミコンダクターカンパニー

• 榎本 容幸

  ソニーセミコンダクターソリューションズネットワークカンパニー

• 猪原 正弘

  東芝セミコンダクターカンパニー

• 本多 健二

  東芝セミコンダクターカンパニー

• 矢野 博之

  東芝セミコンダクターカンパニー

• 長谷川 利昭

  ソニーセミコンダクターソリューションズネットワークカンパニー

• 門村 新吾

  ソニーセミコンダクターソリューションズネットワークカンパニー

• 柴田 英毅

  東芝セミコンダクターカンパニー

• 依田 孝

  東芝セミコンダクターカンパニー

• 辰巳 哲也

  ソニー(株)半導体事業本部セミコンダクターテクノロジー開発部門

• 辰巳 哲也

  ソニー(株)

• 高橋 新吾

  ソニー(株)

• 山村 育弘

  ソニー(株)

• 徳永 和彦

  ソニー(株)

• 池田 浩一

  ソニー(株)

• 宮田 幸児

  ソニー(株)

• 田口 充

  ソニー(株)

• 前田 圭一

  ソニー(株)

• 駒井 尚紀

  ソニー(株)

• 鬼頭 英至

  ソニー(株)

• 長谷川 利昭

  ソニー厚木

• 榎本 容幸

  ソニー(株)

• 磯林 厚伸

  ソニー(株)SSNCセミコンダクタテクノロジー開発本部プロセスプラットフォーム部門

• 山田 博

  ソニーセミコンダクタ九州(株)LSI第一生産部門第二デバイス開発部

• 小林 岳史

  ソニー(株)

• 千葉 安浩

  ソニー(株)セミコンダクタカンパニー 超LSI研究所

• 高橋 新吾

  ソニー(株)ssncセミコンダクタテクノロジー開発本部プロセスプラットフォーム部門

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著作論文

• 130, 90, 65nm及びそれ以降の多層配線技術における low-k 絶縁膜技術
• 130, 90, 65nm及びそれ以降の多層配線技術におけるlow-k絶縁膜技術
• ダマシンゲートプロセスを用いた Top-Cut デュアルストレスライナーを有する高性能 Metal/High-k Gate MOSFETs
• ダマシンゲートプロセスを用いたtop-cutデュアルストレスライナーを有する高性能Metal/High-k Gate MOSFET(IEDM(先端CMOSデバイス・プロセス技術))
• [100]及び[110]基板上の埋め込みSiGe膜による歪みSiチャンネルを有する Metal/High-k ゲート電極MOSFETs
• (100)及び(110)基板上のeSiGeによる歪みSiチャネルを有するMetal/High-k Gate Stack MOSFETのデバイス特性(IEDM(先端CMOSデバイス・プロセス技術))
• バルクCMOS向け低閾値電圧・高移動度デュアルメタルゲートトランジスタの開発(VLSI回路,デバイス技術(高速,低電圧,低消費電力))
• バルクCMOS向け低閾値電圧・高移動度デュアルメタルゲートトランジスタの開発
• 有機低誘電体膜を用いた多層銅配線技術
• バルクCMOS向け低閾値電圧・高移動度デュアルメタルゲートトランジスタの開発(VLSI回路,デバイス技術(高速,低電圧,低消費電力))
• Cu-Ag合金シードを用いたCu配線の信頼性改善
• ED2000-136 / SDM2000-118 / ICD-2000-72 低誘電率膜を用いたCuデュアルダマシン配線の形成技術
• ED2000-136 / SDM2000-118 / ICD2000-72 低誘電率膜を用いたCuデュアルダマシン配線の形成技術
• ED2000-136 / SDM2000-118 / ICD2000-72 低誘電率膜を用いたCuデュアルダマシン配線の形成技術
• フッ素樹脂による低誘電率化の検討
• 低誘電率膜を用いた層間絶縁膜構造における容量シミュレーション
• ECRプラズマCVD法によるTi製膜とコンタクトへの適用
• ECRプラズマCVD法によるTiN/Ti膜の形成とコンタクトへの適用

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