榎本 容幸 | ソニー株式会社

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概要

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• ソニー株式会社の論文著者

関連著者

• 榎本 容幸

  ソニー株式会社

• 中村 直文

  株式会社半導体先端テクノロジーズ

• 宮島 秀史

  (株)東芝セミコンダクター社

• 矢野 博之

  東芝

• 香川 恵永

  ソニー株式会社

• 矢野 博之

  (株)東芝セミコンダクター社

• 島山 努

  ソニー(株)

• 岩本 俊幸

  Necエレクトロニクス先端デバイス開発事業部

• 松永 範昭

  (株)東芝研究開発センターデバイスプロセス開発センター

• 依田 孝

  (株)東芝セミコンダクター社

• 松永 範昭

  東芝

• 門村 新吾

  ソニー

• 長谷川 利昭

  ソニー(株)

• 吉田 健司

  東芝セミコンダクター社システムlsi事業部

• 岩井 正明

  東芝セミコンダクター社システムLSI事業部

• 山田 誠司

  (株)東芝セミコンダクタ社システムLSI第一事業部システムLSIデバイス技術開発部

• 藤巻 剛

  (株)東芝セミコンダクター社

• 秋山 和隆

  株式会社 東芝セミコンダクター社

• 東 和幸

  (株)東芝セミコンダクター社

• 榎本 容幸

  ソニー(株)

• 古田 健司

  東芝セミコンダクター社システムlsi事業部

• 松岡 史倫

  東芝

• 成瀬 宏

  東芝

• 渡邉 桂

  (株)東芝研究開発センターデバイスプロセス開発センター

• 門村 新吾

  ソニー(株)ssncセミコンダクタテクノロジー開発本部プロセスプラットフォーム部門

• 本多 健二

  東芝セミコンダクター社システムlsi事業部

• 大野 圭一

  ソニー株式会社コンスーマプロダクツ&デバイスグループ半導体事業本部セミコンダクタテクノロジー開発部門

• 佐藤 力

  株式会社 東芝セミコンダクター社

• 松尾 浩司

  (株)東芝セミコンダクタ社プロセス技術開発センター

• 池田 昌弘

  Necエレクトロニクス先端デバイス開発事業部

• 斎藤 正樹

  ソニー(株)

• 柴田 英毅

  株式会社東芝セミコンダクター社

• 梶田 明広

  (株)東芝研究開発センターデバイスプロセス開発センター

• 藤田 敬次

  東芝

• 伊藤 祥代

  東芝

• 蜂谷 貴世

  東芝

• 猪原 正弘

  東芝

• 上條 浩幸

  東芝

• 中田 錬平

  東芝

• 早坂 伸夫

  東芝

• 金村 龍一

  ソニー

• 藤田 敬次

  東芝セミコンダクターカンパニー

• 伊藤 祥代

  東芝セミコンダクターカンパニー

• 田渕 清隆

  ソニーセミコンダクターソリューションズネットワークカンパニー

• 蜂谷 貴世

  東芝セミコンダクターカンパニー

• 金村 龍一

  ソニーセミコンダクターソリューションズネットワークカンパニー

• 上條 浩幸

  東芝セミコンダクターカンパニー

• 中田 錬平

  東芝セミコンダクターカンパニー

• 早坂 伸夫

  東芝セミコンダクターカンパニー

• 宇佐美 達矢

  NECエレクトロニクス(株)

• 藤田 繁

  ソニー株式会社

• 山崎 博之

  (株)東芝セミコンダクタ社プロセス技術開発センター

• 松本 拓治

  三菱電機株式会社ULSI技術開発センター

• 松本 拓治

  ソニー株式会社

• 新居 英明

  (株)東芝セミコンダクタ社システムlsi第一事業部システムlsiデバイス技術開発部

• 太田 和伸

  ソニー株式会社

• 猪原 正弘

  東芝セミコンダクター社システムlsi事業部

• 渡辺 竜太

  東芝セミコンダクター社システムLSI事業部

• 今井 清隆

  NECエレクトロニクス先端デバイス開発事業部

• 松岡 史倫

  東芝セミコンダクター社システムLSI事業部

• 山崎 崇

  ソニー株式会社

• 佐貫 朋也

  (株)東芝セミコンダクタ社システムLSI第一事業部システムLSIデバイス技術開発部

• 岡山 康則

  (株)東芝セミコンダクタ社システムLSI第一事業部システムLSIデバイス技術開発部

• 岩本 俊幸

  NECエレクトロニクス株式会社

• 藤巻 剛

  (株)東芝セミコンダクタ社システムLSI第一事業部システムLSIデバイス技術開発部

• 木村 泰巳

  (株)東芝セミコンダクタ社システムLSI第一事業部システムLSIデバイス技術開発部

• 渡辺 竜二

  (株)東芝セミコンダクタ社システムLSI第一事業部システムLSIデバイス技術開発部

• 菰田 泰生

  (株)東芝セミコンダクタ社システムLSI第一事業部システムLSIデバイス技術開発部

• 英保 亜弓

  (株)東芝セミコンダクタ社システムLSI第一事業部システムLSIデバイス技術開発部

• 相川 恒

  (株)東芝セミコンダクタ社システムLSI第一事業部システムLSIデバイス技術開発部

• 山口 理恵

  (株)東芝セミコンダクタ社システムLSI第一事業部システムLSIデバイス技術開発部

• 森本 類

  ソニー株式会社

• 大島 亮介

  ソニー株式会社

• 横山 孝司

  ソニー株式会社

• 鉢峰 清太

  ソニー株式会社

• 十河 康則

  ソニー株式会社

• 志野 誠也

  ソニー株式会社

• 金井 貞夫

  ソニー株式会社

• 高橋 誠司

  ソニー株式会社

• 前田 英訓

  ソニー株式会社

• 岩田 敏彦

  ソニー株式会社

• 竹川 陽一

  (株)東芝セミコンダクタ社システムLSI第一事業部システムLSIデバイス技術開発部

• 大石 要

  (株)東芝セミコンダクタ社システムLSI第一事業部システムLSIデバイス技術開発部

• 東郷 光洋

  NECエレクトロニクス株式会社

• 深作 克彦

  ソニー株式会社

• 高須 靖夫

  (株)東芝セミコンダクタ社プロセス技術開発センター

• 猪熊 英幹

  (株)東芝セミコンダクタ社プロセス技術開発センター

• 松尾 浩二

  (株)東芝セミコンダクタ社プロセス技術開発センター

• 佐藤 力

  (株)東芝セミコンダクタ社プロセス技術開発センター

• 中澤 正志

  ソニー株式会社

• 片桐 孝浩

  ソニー株式会社

• 中澤 圭一

  ソニー株式会社

• 新山 卓

  ソニー株式会社

• 手塚 友樹

  ソニー株式会社

• 長岡 弘二郎

  ソニー株式会社

• 村松 諭

  NECエレクトロニクス株式会社

• 岩佐 誠一

  (株)東芝セミコンダクタ社プロセス技術開発センター

• 三本木 省二

  (株)東芝セミコンダクタ社プロセス技術開発センター

• 吉田 健司

  (株)東芝セミコンダクタ社システムLSI第一事業部システムLSIデバイス技術開発部

• 須之内 一正

  (株)東芝セミコンダクタ社システムLSI第一事業部システムLSIデバイス技術開発部

• 岩井 正明

  (株)東芝セミコンダクタ社システムLSI第一事業部システムLSIデバイス技術開発部

• 斉藤 正樹

  ソニー株式会社

• 成瀬 宏

  (株)東芝セミコンダクタ社プロセス技術開発センター

• 長島 直樹

  ソニー株式会社

• 桑田 孝明

  NECエレクトロニクス株式会社

• 松岡 史倫

  (株)東芝セミコンダクタ社システムLSI第一事業部システムLSIデバイス技術開発部

• 矢野 博之

  (株)東芝

• 大野 圭一

  ソニー株式会社

• 大島 享介

  ソニー株式会社

• 宇佐美 達矢

  Necエレクトロニクス株式会社

• 亀嶋 隆季

  ソニー株式会社

• 増田 秀顕

  東芝株式会社

• 島田 美代子

  東芝株式会社

• 岩本 敏幸

  NEC Electronics Corporation

• 村松 諭

  NEC Electronics Corporation

• 池田 昌弘

  Necエレクトロニクス

• 相川 恒

  株式会社東芝セミコンダクター社システムLSI事業部

• 佐貫 朋也

  株式会社東芝セミコンダクター社システムLSI事業部

• 岩本 俊幸

  Nec Electronics Corporation

• 西岡 岳

  (株)東芝セミコンダクター社

• 木村 泰己

  (株)東芝セミコンダクタ社システムlsi第一事業部システムlsiデバイス技術開発部

• 三本木 省二

  東芝

• 須之内 一正

  (株)東芝セミコンダクター社

• 田上 政由

  NECエレクトロニクスLSI基礎開発研究所

• 関根 誠

  NECエレクトロニクス株式会社

• 島田 美代子

  (株)東芝セミコンダクター社

• 渡邉 桂

  (株)東芝セミコンダクター社

• 中村 直文

  (株)東芝セミコンダクター社

• 宮島 秀史

  東芝

• 渡邉 桂

  東芝

• 秋山 和隆

  東芝

• 東 和幸

  東芝

• 中村 直文

  東芝

• 梶田 明広

  東芝

• 本多 健二

  東芝

• 柴田 英毅

  東芝

• 依田 孝

  東芝

• 田渕 清隆

  ソニー

• 島山 努

  ソニー

• 榎本 容幸

  ソニー

• 長谷川 利昭

  ソニー

• 宮島 秀史

  東芝セミコンダクターカンパニー

• 渡邉 桂

  東芝セミコンダクターカンパニー

• 島山 努

  ソニーセミコンダクターソリューションズネットワークカンパニー

• 秋山 和隆

  東芝セミコンダクターカンパニー

• 東 和幸

  東芝セミコンダクターカンパニー

• 中村 直文

  東芝セミコンダクターカンパニー

• 梶田 明広

  東芝セミコンダクターカンパニー

• 松永 範昭

  東芝セミコンダクターカンパニー

• 榎本 容幸

  ソニーセミコンダクターソリューションズネットワークカンパニー

• 猪原 正弘

  東芝セミコンダクターカンパニー

• 本多 健二

  東芝セミコンダクターカンパニー

• 矢野 博之

  東芝セミコンダクターカンパニー

• 長谷川 利昭

  ソニーセミコンダクターソリューションズネットワークカンパニー

• 門村 新吾

  ソニーセミコンダクターソリューションズネットワークカンパニー

• 柴田 英毅

  東芝セミコンダクターカンパニー

• 依田 孝

  東芝セミコンダクターカンパニー

• 側瀬 聡文

  東芝株式会社

• 西岡 岳

  (株)東芝機械・システムラボラトリー

• 羽多野 正亮

  (株)東芝セミコンダクター社

• 和田 純一

  (株)東芝セミコンダクター社

• 蓮沼 正彦

  (株)東芝セミコンダクター社

• 高橋 新吾

  ソニー(株)

• 北野 友久

  NECエレクトロニクス(株)

• 岩本 敏幸

  NECエレクトロニクス先端デバイス開発事業部

• 北野 友久

  Necエレクトロニクス株式会社

• 門村 新吾

  ソニー(株)

• 長谷川 利昭

  ソニー厚木

• 藤巻 剛

  株式会社 東芝セミコンダクター社

• 東 和幸

  株式会社 東芝セミコンダクター社

• 中村 直文

  株式会社 東芝セミコンダクター社

• 松永 範昭

  株式会社 東芝セミコンダクター社

• 吉田 健司

  株式会社 東芝マイクロエレクトロニクス

• 羽多野 正亮

  株式会社 東芝セミコンダクター社

• 蓮沼 正彦

  株式会社 東芝セミコンダクター社

• 和田 純一

  株式会社 東芝セミコンダクター社

• 西岡 岳

  株式会社 東芝セミコンダクター社

• 川島 寛之

  ソニー株式会社 半導体事業グループ

• 長谷川 利昭

  ソニー株式会社 半導体事業グループ

• 本多 健二

  株式会社 東芝セミコンダクター社

• 岩井 正明

  株式会社 東芝セミコンダクター社

• 山田 誠司

  株式会社 東芝セミコンダクター社

• 松岡 史倫

  株式会社 東芝セミコンダクター社

• 増田 秀顕

  (株)東芝セミコンダクター社

• 伊高 利昭

  (株)東芝セミコンダクター社

• 亀嶋 隆季

  ソニー(株)

• 香川 恵永

  ソニー(株)

• 宮嶋 秀史

  (株)東芝セミコンダクター社

• 岩本 敏幸

  NEC シリコンシステム研究所

• 渡邊 桂

  東芝株式会社

• 中村 直文

  東芝株式会社

• 宮島 秀史

  東芝株式会社

• 成瀬 宏

  東芝株式会社

• 北野 友久

  NEC Electronics Corporation

• 北野 友久

  日本電気(株)

• 田上 政由

  Necエレクトロニクス株式会社lsi基礎開発研究所

• 磯林 厚伸

  ソニー(株)SSNCセミコンダクタテクノロジー開発本部プロセスプラットフォーム部門

• 山田 博

  ソニーセミコンダクタ九州(株)LSI第一生産部門第二デバイス開発部

• 西岡 岳

  (株)東芝

• 高橋 新吾

  ソニー(株)ssncセミコンダクタテクノロジー開発本部プロセスプラットフォーム部門

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著作論文

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• RIEプラズマ耐性の持つ、ポーラスPE-CVD SiOC膜(k
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• 高NA(1.07)液浸リソグラフィ技術を用いた45nm世代高性能システムLSIプラットフォーム技術(CMOS6)
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• 45nm node 向け塗布ポーラス low-k 膜の材料設計
• Cu-Ag合金シードを用いたCu配線の信頼性改善

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