中村 直文 | 株式会社 東芝セミコンダクター社
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概要
関連著者
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中村 直文
株式会社 東芝セミコンダクター社
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中村 直文
株式会社半導体先端テクノロジーズ
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青山 肇
株式会社半導体先端テクノロジーズ
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中村 直文
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
著作論文
- 吸湿によるヴィア不良のメカニズム及び45nm世代多層配線デザインへの影響(低誘電率層間膜,配線材料及び一般)
- EUVリソグラフィーを用いた70nmピッチCu/ポーラス低誘電率膜デュアルダマシンインテグレーションの基礎検討