佐藤 力 | (株)東芝セミコンダクタ社プロセス技術開発センター

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概要

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関連著者

• 佐藤 力

  株式会社 東芝セミコンダクター社

• 佐藤 力

  (株)東芝セミコンダクタ社プロセス技術開発センター

• 水島 一郎

  株式会社東芝セミコンダクター社 プロセス技術推進センター

• 水島 一郎

  東芝 セミコンダクター社 プロセス技術推進センター

• 綱島 祥隆

  東芝 セミコンダクター社 プロセス技術推進センター

• 水島 一郎

  東芝セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 水島 一郎

  東芝セミコンダクター社 プロセス技術推進セ

• 新居 英明

  (株)東芝セミコンダクタ社システムlsi第一事業部システムlsiデバイス技術開発部

• 水島 一郎

  (株)東芝 研究開発センター

• 綱島 祥隆

  (株)東芝 セミコンダクター社

• 綱島 祥隆

  (株)東芝

• 水島 一郎

  (株)東芝 セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 山田 誠司

  (株)東芝セミコンダクタ社システムLSI第一事業部システムLSIデバイス技術開発部

• 綱島 祥隆

  株式会社東芝セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 佐藤 力

  株式会社東芝セミコンダクター社

• 岩本 俊幸

  Necエレクトロニクス先端デバイス開発事業部

• 林 久貴

  (株)東芝セミコンダクター社

• 井納 和美

  (株)東芝セミコンダクター社SoC研究開発センター

• 平野 智之

  株式会社 東芝セミコンダクター社

• 青木 伸俊

  (株)東芝研究開発センターデバイスプロセス開発センター

• 幡野 正之

  株式会社 東芝セミコンダクター社

• 竹中 圭一

  株式会社 東芝セミコンダクター社

• 石行 一貴

  株式会社 東芝セミコンダクター社

• 井田 和彦

  株式会社 東芝セミコンダクター社

• 大黒 達也

  (株)東芝セミコンダクタ社SoC研究開発センター

• 青木 伸俊

  東芝セミコンダクター社半導体研究開発センター

• 大黒 達也

  東芝セミコンダクター社:広島大学

• 大野 圭一

  ソニー株式会社コンスーマプロダクツ&デバイスグループ半導体事業本部セミコンダクタテクノロジー開発部門

• 石内 秀美

  (株)東芝セミコンダクター社SoC研究開発センター

• 親松 尚人

  (株)東芝 セミコンダクター社 プロセス技術推進センター

• 松尾 浩司

  (株)東芝セミコンダクタ社プロセス技術開発センター

• 池田 昌弘

  Necエレクトロニクス先端デバイス開発事業部

• 吉田 毅

  九州大学医学部附属病院放射線科

• 斎藤 正樹

  ソニー(株)

• 灘原 壮一

  (株)東芝 セミコンダクター社 半導体プロセス開発第四部

• 斉藤 芳彦

  株式会社東芝セミコンダクター社

• 藤田 繁

  ソニー株式会社

• 山崎 博之

  (株)東芝セミコンダクタ社プロセス技術開発センター

• 松本 拓治

  三菱電機株式会社ULSI技術開発センター

• 松本 拓治

  ソニー株式会社

• 山田 敬

  (株)東芝セミコンダクター社soc研究開発センター

• 青木 伸俊

  株式会社東芝セミコンダクター社半導体研究開発センター

• 新居 英明

  株式会社東芝セミコンダクター社 SoC研究開発センター

• 井納 和美

  株式会社東芝セミコンダクター社 SoC研究開発センター

• 勝又 康弘

  株式会社東芝セミコンダクター社 SoC研究開発センター

• 石内 秀美

  株式会社東芝セミコンダクター社 SoC研究開発センター

• 吉田 健司

  東芝セミコンダクター社システムlsi事業部

• 太田 和伸

  ソニー株式会社

• 渡辺 竜太

  東芝セミコンダクター社システムLSI事業部

• 今井 清隆

  NECエレクトロニクス先端デバイス開発事業部

• 岩井 正明

  東芝セミコンダクター社システムLSI事業部

• 山崎 崇

  ソニー株式会社

• 佐貫 朋也

  (株)東芝セミコンダクタ社システムLSI第一事業部システムLSIデバイス技術開発部

• 岡山 康則

  (株)東芝セミコンダクタ社システムLSI第一事業部システムLSIデバイス技術開発部

• 岩本 俊幸

  NECエレクトロニクス株式会社

• 藤巻 剛

  (株)東芝セミコンダクタ社システムLSI第一事業部システムLSIデバイス技術開発部

• 木村 泰巳

  (株)東芝セミコンダクタ社システムLSI第一事業部システムLSIデバイス技術開発部

• 渡辺 竜二

  (株)東芝セミコンダクタ社システムLSI第一事業部システムLSIデバイス技術開発部

• 菰田 泰生

  (株)東芝セミコンダクタ社システムLSI第一事業部システムLSIデバイス技術開発部

• 英保 亜弓

  (株)東芝セミコンダクタ社システムLSI第一事業部システムLSIデバイス技術開発部

• 相川 恒

  (株)東芝セミコンダクタ社システムLSI第一事業部システムLSIデバイス技術開発部

• 山口 理恵

  (株)東芝セミコンダクタ社システムLSI第一事業部システムLSIデバイス技術開発部

• 森本 類

  ソニー株式会社

• 大島 亮介

  ソニー株式会社

• 横山 孝司

  ソニー株式会社

• 鉢峰 清太

  ソニー株式会社

• 十河 康則

  ソニー株式会社

• 志野 誠也

  ソニー株式会社

• 金井 貞夫

  ソニー株式会社

• 高橋 誠司

  ソニー株式会社

• 前田 英訓

  ソニー株式会社

• 岩田 敏彦

  ソニー株式会社

• 竹川 陽一

  (株)東芝セミコンダクタ社システムLSI第一事業部システムLSIデバイス技術開発部

• 大石 要

  (株)東芝セミコンダクタ社システムLSI第一事業部システムLSIデバイス技術開発部

• 東郷 光洋

  NECエレクトロニクス株式会社

• 深作 克彦

  ソニー株式会社

• 高須 靖夫

  (株)東芝セミコンダクタ社プロセス技術開発センター

• 猪熊 英幹

  (株)東芝セミコンダクタ社プロセス技術開発センター

• 松尾 浩二

  (株)東芝セミコンダクタ社プロセス技術開発センター

• 中澤 正志

  ソニー株式会社

• 片桐 孝浩

  ソニー株式会社

• 中澤 圭一

  ソニー株式会社

• 新山 卓

  ソニー株式会社

• 手塚 友樹

  ソニー株式会社

• 香川 恵永

  ソニー株式会社

• 長岡 弘二郎

  ソニー株式会社

• 村松 諭

  NECエレクトロニクス株式会社

• 岩佐 誠一

  (株)東芝セミコンダクタ社プロセス技術開発センター

• 三本木 省二

  (株)東芝セミコンダクタ社プロセス技術開発センター

• 吉田 健司

  (株)東芝セミコンダクタ社システムLSI第一事業部システムLSIデバイス技術開発部

• 須之内 一正

  (株)東芝セミコンダクタ社システムLSI第一事業部システムLSIデバイス技術開発部

• 岩井 正明

  (株)東芝セミコンダクタ社システムLSI第一事業部システムLSIデバイス技術開発部

• 斉藤 正樹

  ソニー株式会社

• 榎本 容幸

  ソニー株式会社

• 成瀬 宏

  (株)東芝セミコンダクタ社プロセス技術開発センター

• 長島 直樹

  ソニー株式会社

• 桑田 孝明

  NECエレクトロニクス株式会社

• 松岡 史倫

  (株)東芝セミコンダクタ社システムLSI第一事業部システムLSIデバイス技術開発部

• 永野 元

  プロセス技術推進センター

• 山田 誠司

  株式会社東芝 セミコンダクター社 システムLSI事業部

• 藤巻 剛

  (株)東芝セミコンダクター社

• 勝又 康弘

  東芝セミコンダクター社

• 石内 秀美

  東芝 セミコンダクター社 半導体研究開発センター

• 大野 圭一

  ソニー株式会社

• 山田 敬

  株式会社東芝セミコンダクター社

• 高橋 一美

  東芝マイクロエレクトロニクス株式会社

• 親松 尚人

  株式会社東芝セミコンダクター社

• 永野 元

  株式会社東芝セミコンダクター社

• 新田 伸一

  株式会社東芝セミコンダクター社

• 北城 岳彦

  株式会社東芝セミコンダクター社

• 国分 弘一

  株式会社東芝セミコンダクター社

• 安本 佳緒里

  株式会社東芝セミコンダクター社

• 松原 義徳

  株式会社東芝セミコンダクター社

• 吉田 毅

  株式会社東芝セミコンダクター社

• 灘原 壮一

  株式会社東芝セミコンダクター社

• 吉見 信

  株式会社東芝セミコンダクター社

• 幡野 正之

  株式会社東芝セミコンダクター社

• 竹中 圭一

  株式会社東芝セミコンダクター社

• 林 久貴

  株式会社東芝セミコンダクター社

• 石行 一貴

  株式会社東芝セミコンダクター社

• 平野 智之

  株式会社東芝セミコンダクター社

• 井田 和彦

  株式会社東芝セミコンダクター社

• 大黒 達也

  株式会社東芝セミコンダクター社

• 吉田 毅

  広島大学先端物質科学研究科

• 大島 享介

  ソニー株式会社

• 岩本 敏幸

  NEC Electronics Corporation

• 村松 諭

  NEC Electronics Corporation

• 古田 健司

  東芝セミコンダクター社システムlsi事業部

• 吉田 毅

  (株)東芝セミコンダクター社システムlsi第一事業部システムlsiデバイス技術開発部

• 松岡 史倫

  東芝

• 北城 岳彦

  (株)東芝セミコンダクター社

• 池田 昌弘

  Necエレクトロニクス

• 松原 義徳

  (株)東芝セミコンダクター社システムLSI第一事業部システムLSIデバイス技術開発部

• 成瀬 宏

  東芝

• 吉田 毅

  産業医科大学泌尿器科学教室

• 吉見 信

  SOITEC Asia

• 相川 恒

  株式会社東芝セミコンダクター社システムLSI事業部

• 佐貫 朋也

  株式会社東芝セミコンダクター社システムLSI事業部

• 岩本 俊幸

  Nec Electronics Corporation

• 木村 泰己

  (株)東芝セミコンダクタ社システムlsi第一事業部システムlsiデバイス技術開発部

• 三本木 省二

  東芝

• 吉見 信

  東芝 Soc研開セ

• 吉見 信

  株式会社東芝 セミコンダクター社 Soc研究開発センター 高性能cmosデバイス技術開発部

• 須之内 一正

  (株)東芝セミコンダクター社

• 松岡 史倫

  (株)東芝セミコンダクター社システムlsi事業部

• 井納 和美

  株式会社東芝

• 吉田 毅

  株式会社東芝

• 大黒 達也

  株式会社東芝

• 岩本 敏幸

  NECエレクトロニクス先端デバイス開発事業部

• 松岡 史倫

  東芝セミコンダクター社システムLSI事業部

• 綱島 祥隆

  株式会社 東芝 セミコンダクター社 プロセス技術推進センター

• 新居 英明

  株式会社 東芝セミコンダクター社

• 林 久貴

  株式会社 東芝セミコンダクター社

• 青木 伸俊

  株式会社 東芝セミコンダクター社

• 大黒 達也

  株式会社 東芝セミコンダクター社

• 井納 和美

  株式会社 東芝セミコンダクター社

• 水島 一郎

  株式会社 東芝セミコンダクター社

• 岩本 敏幸

  NEC シリコンシステム研究所

• 井納 和美

  株式会社 東芝

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著作論文

• 高NA(1.07)液浸リソグラフィ技術を用いた45nm世代高性能システムLSIプラットフォーム技術(CMOS6)(IEDM(先端CMOSデバイス・プロセス技術))
• 高NA(1.07)液浸リソグラフィ技術を用いた45nm世代高性能システムLSIプラットフォーム技術(CMOS6)
• SOI/Bulkハイブリッド基板を用いた高性能SoC実現のためのDRAM混載技術
• SON-MOSFETの作製とULSIへの応用
• ESS技術を用いたSON-MOSFETの作成
• シリコンの表面マイグレーションを利用した新しい基板エンジニアリング 〜ESS(Empty Space in Siliton) による大面積 SON(Silicon on Nothing)の形成〜
• シリコンの表面マイグレーションを利用した大面積SON(Silicon on Noting)の形成
• ED2000-131 / SDM2000-113 / ICD-2000-67 シリコンの表面マイグレーションを用いたSON(Silicon on Nothing)構造の形成技術
• ED2000-131 / SDM2000-113 / ICD2000-67 シリコンの表面マイグレーションを用いたSON(Silicon on Nothing)構造の形成技術
• SOI/Bulkハイブリッド基板を用いた高性能SoC実現のためのDRAM混載技術
• SON-MOSFETの作製とULSIへの応用
• ED2000-131 / SDM2000-113 / ICD2000-67 シリコンの表面マイグレーションを用いたSON(Silicon on Nothing)構造の形成技術

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