川島 淳志 | ソニー(株)セミコンダクタカンパニー 超lsi研究所

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概要

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関連著者

• 門村 新吾

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• 川島 淳志

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• 川島 淳志

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• 千葉 安浩

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著作論文

• ECRプラズマCVD法によるTi製膜とコンタクトへの適用
• ECRプラズマCVD法によるTiN/Ti膜の形成とコンタクトへの適用

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