有機低誘電体膜を用いた多層銅配線技術
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概要
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- 1999-12-09
著者
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門村 新吾
ソニー
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辰巳 哲也
ソニー(株)半導体事業本部セミコンダクターテクノロジー開発部門
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辰巳 哲也
ソニー(株)
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長谷川 利昭
ソニー(株)
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門村 新吾
ソニー(株)
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山村 育弘
ソニー(株)
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徳永 和彦
ソニー(株)
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池田 浩一
ソニー(株)
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宮田 幸児
ソニー(株)
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田口 充
ソニー(株)
-
前田 圭一
ソニー(株)
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駒井 尚紀
ソニー(株)
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深沢 正永
ソニー(株)
-
鬼頭 英至
ソニー(株)
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池田 浩一
ソニー株式会社コアテクノロジー&ネットワークカンパニーlsi事業開発本部
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徳永 和彦
ソニー株式会社コアテクノロジー&ネットワークカンパニーlsi事業開発本部
-
山村 育弘
ソニー株式会社コアテクノロジー&ネットワークカンパニーlsi事業開発本部
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深沢 正永
ソニー株式会社コアテクノロジー&ネットワークカンパニーlsi事業開発本部
-
門村 新吾
ソニー(株)ssncセミコンダクタテクノロジー開発本部プロセスプラットフォーム部門
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宮田 幸児
ソニー株式会社コアテクノロジー&ネットワークカンパニーlsi事業開発本部
-
鬼頭 英至
ソニー株式会社コアテクノロジー&ネットワークカンパニーlsi事業開発本部
-
田口 充
ソニー株式会社コアテクノロジー&ネットワークカンパニーlsi事業開発本部
-
駒井 尚紀
ソニー株式会社コアテクノロジー&ネットワークカンパニーlsi事業開発本部
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