低温オゾンアニールによるTa_2O_5膜の絶縁性改善
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概要
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- 1996-12-05
著者
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青山 純一
ソニー
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文 範基
ソニー(株)、コアテクノロジー開発本部
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青山 純一
超lsi研究所
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青山 純一
ソニー(株)
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磯辺 千春
ソニー(株)
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磯辺 千春
ソニー(株)、コアテクノロジー開発本部
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