磯辺 千春 | ソニー(株)

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概要

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• 文 範基

  ソニー(株)、コアテクノロジー開発本部

• 磯辺 千春

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• 磯辺 千春

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• 西原 俊幸

  ソニー(株)、コアテクノロジー開発本部

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• 菱川 伸一

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• 青山 純一

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  超lsi研究所

• 青山 純一

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• 西原 利幸

  ソニー(株)厚木第1テクノロジーセンター

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著作論文

• プラズマMOCVD法により作製された低電圧動作用SrBi_2Ta_2O_9キャパシタ
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• 低温オゾンアニールによるTa_2O_5膜の絶縁性改善

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