ED2000-134 / SDM2000-116 / ICD-2000-70 SbとInの高角度ハローイオン注入による80nmゲート長CMOSの実現

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概要

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• 重元素(Sb, In)の高角度ハローイオン注入による80nm CMOSの最適化をSimulationと試作により検証した。pMOSFETにおいては、高角度イオン注入によるSbハローが短チャネル効果の抑制のみでなく、高い駆動電流の達成とPNトンネル電流の抑制に対しても非常に効果的であることが明らかになった。一方、nMOSFETにおいては、高角度イオン注入によるInハローでは高濃度Inの増速拡散と低い活性化率により所望の特性が得られないことが判明した。最後に、これらの技術を最適化することで超高性能80nmCMOSが実現できることを示した。

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2000-08-18

著者

• 藤原 実

  (株)東芝セミコンダクター社SoC研究開発センター

• 安達 甘奈

  (株)東芝セミコンダクター社SoC研究開発センター

• 高柳 万里子

  (株)東芝セミコンダクター社SoC研究開発センター

• 豊島 義明

  (株)東芝 セミコンダクター社SoC研究開発センター

• 藤原 実

  株式会社東芝セミコンダクター社半導体研究開発センター

• 宮下 桂

  (旧)(株)東芝セミコンダクター社マイクロエレクトロニクス技術研究所デバイス技術研究所(現)(株)東芝セミコンダクター社システムLSI事業部システムLSIデバイス技術開発統括部

• 吉村 尚郎

  (旧)(株)東芝セミコンダクター社マイクロエレクトロニクス技術研究所デバイス技術研究所(現)(株)東芝セミコンダクター社システムLSI事業部システムLSIデバイス技術開発統括部

• 中山 武雄

  (旧)(株)東芝セミコンダクター社マイクロエレクトロニクス技術研究所デバイス技術研究所(現)(株)東芝セミコンダクター社システムLSI事業部システムLSIデバイス技術開発統括部

• 中山 武雄

  東芝セミコンダクター社システムlsi事業部

• 吉村 尚郎

  東芝セミコンダクター社システムLSI事業部

• 宮下 桂

  東芝

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