プラスチック基板上に作製したITO膜及び有機EL素子の機械的特性(薄膜プロセス・材料,一般)

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概要

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本研究では,PEN基板上に様々な条件で作製したITO膜や有機EL素子を用いて機械的特性の検討を行った。その結果,ITO膜の表面には亀裂が生じており,これにより抵抗率が上昇した。また,膜厚,RF投入電力,ターゲット組成を変化させることで変形を行った後の膜表面の亀裂や抵抗率の変化が異なることから,膜堆積に用いるターゲットや膜作製条件を調整することにより,機械的に試料を変形させた場合の変化を抑制できる可能性があると考えられた。また,PEN基板上に有機EL素子を作製し,機械的に変形を複数回行うと,素子特性が大きく劣化することが分かった。
一般社団法人電子情報通信学会の論文
2012-10-19

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