熱処理法によるSrAl_2O_4:Eu,Dy薄膜用下地膜の検討(薄膜プロセス・材料,一般)
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概要
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本研究では,マグネトロンスパッタ法により,室温にて酸化Al下地膜を堆積させた後,対向ターゲット式スパッタ法により室温にてSrAl_2O_4:Eu,Dy薄膜を堆積させ,その後,約50PaのAr+5%H_2の還元雰囲気中にて1000℃,1時間の熱処理を行う方法により,酸化Al下地膜の作製条件の違いによる薄膜の特性の検討を行った。その結果,酸化Al下地膜堆積時の酸素分圧や膜厚を調整することで,結晶性やPL特性を劣化させること無く,膜と基板の剥離や亀裂が抑制に有効であることが分かった。
- 2012-10-19
著者
-
岩野 春男
新潟大学工学部
-
川上 貴浩
新潟大学工学部
-
清水 英彦
新潟大 工
-
福嶋 康夫
新潟大学大学院自然科学研究科
-
福嶋 康夫
新潟大学工学部
-
小林 和晃
新潟大学工学部
-
清水 英彦
新潟大学工学部
-
小林 和晃
新潟大学大学院自然科学研究科
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