低電圧駆動フレキシブル有機EL素子のためのITO薄膜の検討(薄膜プロセス・材料,一般)

スポンサーリンク

概要

論文の詳細を見る
本研究では,PENやアクリルなどのプラスチック基板上に,様々な条件でIYO膜を作製するとともに,有機EL素子に及ぼす影響について検討を行った。RF-DC結合形スパッタ法を用いて,ガラス,PEN,アクリル基板上に様々な条件でITO膜を製膜し,有機EL素子へと応用し,評価を行った。その結果,ITO膜堆積時の基板温度が60℃以下においては基板材質による有機EL素子の特性への大きな影響は見られなかった。しかし,膜堆積時の基板温度が約80℃以上になると,アクリルのような耐熱性に劣る基板では,基板からのITO膜の剥離が観測され,有機EL素子への応用は困難であることが分かった。
2011-10-19

著者

関連論文

もっと見る

スポンサーリンク