FTS法にUBMS法を組み合わせたSrAl_2O_4:Eu,Dy薄膜の作製(薄膜プロセス・材料,一般)
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概要
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本研究では,通常の対向ターゲット式スパッタ(FTS)法及びFTS法にアンバランスドマグネトロンスパッタ(UBMS)法を組み合わせた方法を用いて膜を堆積した後,3.0×10^<-3>Paまで排気した真空中,1000□にて熱処理する方法により,SrAl_2O_4:Eu^<2+>,Dy^<3+>膜を作製するとともに,膜堆積法の違いによる堆積速度や薄膜の特性の検討を行った。その結果,堆積速度においては,通常のFTS法よりFTS法にUBMS法を組み合わせた方法の方が全体的にどの条件においても若干速いことが分かった。全ての熱処理を行った膜から顕著な発光スペクトルが観測され,どの膜からも波長420nm付近,波長530nm付近,波長670nm付近の発光が観測された。
- 2010-10-21
著者
-
清水 英彦
新潟大学工学部電気電子工学科
-
岩野 春男
新潟大学工学部
-
川上 貴浩
新潟大学工学部
-
清水 英彦
新潟大 工
-
福嶋 康夫
新潟大学大学院自然科学研究科
-
福嶋 康夫
新潟大学工学部
-
永田 向太郎
新潟大学工学部
-
久野 敬史
新潟大学大学院自然科学研究科
-
齋藤 稔
新潟大学大学院自然科学研究科
-
小林 和晃
新潟大学工学部
-
清水 英彦
新潟大学工学部
-
清水 英彦
新潟大学
-
永田 向太郎
新潟大学
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