超伝導マグネトロンスパッタ装置によるMo/Si多層膜の製作とその特性
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概要
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- 2007-11-20
著者
-
岡 徹雄
新潟大
-
岡 徹雄
新潟大学
-
伊藤 佳孝
イムラ材研
-
菊地 北斗
新潟大
-
清水 英彦
新潟大学工学部電気電子工学科
-
岡 徹雄
新潟大学工学部
-
水谷 宇一郎
名古屋大工
-
水谷 宇一郎
財団法人豊田理化学研究所
-
水谷 宇一郎
名大
-
水谷 宇一郎
豊田理化学研究所
-
清水 英彦
新潟大 工
-
生田 博志
名古屋大学工学部
-
生田 博志
名古屋大学
-
柳 陽介
イムラ材研
-
岡 徹雄
(株)イムラ材料開発研究所
-
菊地 北斗
新潟大学
-
長浜 大作
新潟大学
-
山口 隆
科学技術振興機構
-
友藤 哲也
ニコン
-
松田 隆
イーアンドエクスレイ
-
菊池 北斗
新潟大
-
水谷 宇一郎
名古屋大学
-
生田 博
名古屋大
-
清水 英彦
新潟大学
-
水谷 宇一郎
名古屋大学大学院工学研究科結晶材料工学専攻
-
水谷 宇一郎
名産研
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