スパッタ堆積後熱処理によるSrAl_2O_4薄膜の特性制御
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概要
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本研究では、スパッタ堆積時の酸素分圧を変えて作製した膜を空気中で熱処理を行う方法により、SrAl_2O_4蛍光体薄膜の結晶性及び配向性の制御を試みた。その結果、(1)スパッタ膜堆積時の酸素分圧を0.1[Pa]とし、空気中1000℃で熱処理を行うことにより、膜の剥離を抑制することが可能であること、(2)剥離が抑制される条件で作製した膜は、結晶性及び配向性も良好であり、(010)配向膜が得られること、(3)酸素分圧を0,1[Pa]で作製した膜では、中心部において2価のEuに起因した緑色の発光が、端部では3価のEuに起因した赤色の発光が確認されたこと、(4)酸素分圧が0.1[Pa]以外の膜では、3価のEuに起因した赤色の発光のみが確認されることが明らかとなった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-11-06
著者
-
清水 英彦
新潟大学工学部電気電子工学科
-
岩野 春男
新潟大学工学部
-
丸山 武男
新潟大学工学部
-
太田 雅壽
新潟大学工学部
-
太田 雅壽
新潟大工
-
清水 英彦
新潟大 工
-
太田 雅壽
新潟大学工学部電気電子工学科
-
太田 雅壽
新潟大学工学部機能材料工学科
-
加藤 景三
新潟大学工学部
-
池田 倫秋
新潟大学工学部電気電子工学科
-
石井 岳志
新潟大学工学部電気電子工学科
-
Kato K
Nippon Telegraph And Telephone Corp. Tokyo Jpn
-
Kato K
Shizuoka Johoku Senior High School Shizuoka Jpn
-
Kato Ken-ichi
Department Of Electrical Engineering Faculty Of Engineering Osaka City University
-
石井 岳志
新潟大学大学院自然科学研究科
-
池田 倫秋
新潟大学大学院自然科学研究科
-
清水 英彦
新潟大学工学部
-
丸山 武男
新潟大学
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