Al下地膜上へのSrAl_2O_4薄膜の剥離抑制の検討(薄膜プロセス・材料,一般)
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概要
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本研究では,Al薄膜の上にSrAl_2O_4薄膜をスパッタ堆積した後,熱処理を行う方法によるアSrAl_2O_4薄膜の剥離や亀裂の抑制の検討を行った。その結果,Al下地膜及びスパッタ膜堆積時の酸素分圧は,熱処理によりSrAl_2O_4薄膜を作製する場合の結晶性向上や配向性制御や剥離や亀裂の抑制,発光強度の増加に有効であった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2008-10-23
著者
-
清水 英彦
新潟大学工学部電気電子工学科
-
岩野 春男
新潟大学工学部
-
纐纈 正和
新潟大学大学院自然科学研究科
-
川上 貴浩
新潟大学工学部
-
清水 英彦
新潟大 工
-
張 鋒
新潟大学大学院自然科学研究科
-
清水 英彦
新潟大学工学部
-
清水 英彦
新潟大学
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