スパッタ法によるAZO薄膜の抵抗率の検討 (電子部品・材料)

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概要

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• 2012-10-26

著者

• 清水 英彦

  新潟大 工

• 名越 克仁

  新潟大学大学院自然科学研究科

• 富口 祐輔

  新潟大学工学部

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