Mg膜とNi膜の膜厚比を変化させたMg-Ni薄膜の光学的特性(薄膜プロセス・材料,一般)
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概要
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Mg膜とNi膜を交互に積層する方法により,Mg膜とNi膜の膜厚比を変化させてMg-Ni膜を作製し,水素と反応させる前の薄膜の構造と光学的特性の関係の検討を行った。その結果,希釈された水素雰囲気中での透過率を向上させるためには,Mg膜とNi膜の界面に形成されるMg-Ni合金の生成量に適量があることが分かった。スパッタガス圧が高くなると,スパッタ粒子のエネルギー低くなり,Mg膜とNi膜の界面で合金形成量が減少すると考えられるが,試料膜の全体の膜厚が異なっている可能性があるため,さらなる検討が必要であることが分かった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2008-10-23
著者
-
清水 英彦
新潟大学工学部電気電子工学科
-
岩野 春男
新潟大学工学部
-
平田 真
新潟大学自然科学研究科
-
岡田 智弘
新潟大学自然科学研究科
-
川上 貴浩
新潟大学工学部
-
清水 英彦
新潟大 工
-
平田 真
新潟大学大学院自然科学研究科
-
岡田 智弘
新潟大学大学院自然科学研究科
-
清水 英彦
新潟大学工学部
-
清水 英彦
新潟大学
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