対向ターゲット式反応性スパッタ法によるCu-Al-O薄膜の作製と熱処理効果(薄膜プロセス・材料,一般)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
CuとAlの2組の対向ターゲット対を有する対向ターゲット式反応性スパッタ装置を用いて,Ar希釈の酸素ガス濃度20%および5%においてCuとAlを単分子層オーダで交互に堆積させて基板温度700℃で種々の組成の薄膜を作製した。[Cu]/[Al]モル比および酸素モル濃度によらずCuAl_2O_4とCuOの多結晶相を含む酸素過剰な高抵抗薄膜が得られた。この薄膜に窒素雰囲気中1050℃で熱処理を施したところ,酸素モル濃度が約0.5に減少すると共にCuA1_2O_4相が消失し,CuAlO_2とわずかなCu_2Oの多結晶相が出現したp型導電膜が得られた。組成がCuAlO_2にほぼ等しい薄膜の透過率の立ち上がりがCuAlO_2の禁制帯幅に対応していることは,CuAlO_2が支配的であることを示している。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-11-04
著者
-
金子 双男
新潟大学超域研究機構
-
加藤 景三
新潟大学大学院自然科学研究科
-
金子 双男
新潟大学大学院自然科学研究科
-
坪井 望
新潟大学工学部
-
金子 双男
新潟大学超域研究機構:新潟大学大学院自然科学研究科
-
坪井 望
新潟大学工学部機能材料工学科
-
清水 英彦
新潟大 工
-
伊藤 雄二
新潟大学大学院自然科学研究科
-
小林 敏志
新潟大学工学部
-
小方 淳也
新潟大学大学院自然科学研究科
-
坪井 望
新潟大学超域研究機構
-
清水 英彦
新潟大学超域研究機構
-
Kato K
Nippon Telegraph And Telephone Corp. Tokyo Jpn
-
Kato K
Shizuoka Johoku Senior High School Shizuoka Jpn
-
Kato K
Dept. Of Materials Science And Engineering National Defense Academy
-
Kato Ken-ichi
Department Of Electrical Engineering Faculty Of Engineering Osaka City University
-
坪井 望
新潟大 工
-
金子 双男
新潟大学超域学術院、大学院自然科学研究科
関連論文
- グレーティングカップリング多重励起型表面プラズモン共鳴センサー(発光・表示記録用有機材料およびデバイス・一般)
- グレーティングカップリング多重励起型表面プラズモン共鳴センサー(発光・表示記録用有機材料及びデバイス・一般)
- グレーティングカップリング多重励起型表面プラズモン共鳴センサー(発光・表示記録用有機材料及びデバイス・一般)
- AFMナノリソグラフィによる導電性高分子前駆体の局所表面形状操作(有機材料・一般)
- 表面プラズモン・導波モード同時励起型全反射減衰法によるSiO2配向膜上5CB液晶分子の配向評価
- 交互吸着法による有機色素-カーボンナノチューブ複合超薄膜の作製と評価(有機薄膜・複合膜とデバイス応用,一般)
- 五酸化バナジウム/銅フタロシアニン薄膜トランジスタの作製と特性評価(有機材料・薄膜・界面・デバイス/フィルムベースデバイスのための界面制御とプロセス技術)
- 光導波路型表面プラズモン共鳴および水晶振動子微量天秤法を用いた複合蒸気センシング
- 光導波路型表面プラズモン共鳴および水晶振動子微量天秤法を用いた複合蒸気センシング(有機薄膜・複合膜とデバイス応用,一般)
- アゾベンゼン分子薄膜の近接場光加工とサブミクロン物質の配列制御(薄膜プロセス・材料,一般)
- 細管内金属ワイヤ電極を用いたエレクトロスピニング法による高分子ファイバーの作製(薄膜プロセス・材料,一般)
- CS-4-7 ポリ(3-アミノベンジルアミン)を用いた電気化学-表面プラズモン共鳴分光法によるカテコールアミンの検出(CS-4.有機・バイオデバイスに向けた界面の役割,シンポジウムセッション)
- ナノ構造制御有機薄膜の表面プラズモン励起と放射光
- CuPc薄膜FETへのV_2O_5薄膜の積層による効果
- CuPc薄膜FETへのV_2O_5薄膜の積層による効果(機能性有機薄膜,一般)
- 交互吸着法を用いたレジオレギュラーポリチオフェン/金微粒子複合薄膜の作製(有機材料・デバイス・一般)
- アゾ色素・高分子電解質交互累積膜上の光誘起液晶配向の全反射減衰法による評価
- 表面プラズモン励起を利用した有機薄膜評価
- エバネッセント波を用いたアゾ色素分子薄膜の光加工(機能性有機薄膜・一般)
- ナノ構造制御ローダミンBLB膜のホトルミネッセンスとクレッチマン配置での表面プラズモン放射光
- 金属薄膜上シアニン色素分散高分子膜における表面プラズモン放射光(機能性有機薄膜,一般)
- SC-7-4 ナノ構造制御有機超薄膜からの表面プラズモン放射光
- C-13-2 AlClPc 分散 PVA 薄膜の作製と表面プラズモン励起による評価
- C-13-1 蛍光微粒子配列薄膜の作製と表面プラズモン励起による評価
- SC-9-10 金属薄膜-分子超薄膜ナノ界面における表面プラズモン励起と機能発現
- 金属/有機薄膜における表面プラズモンの励起と光放射特性
- 有機色素薄膜における多重表面プラズモン励起と光放射特性
- 表面プラズモン励起を利用した色選択指向性発光デバイス
- 表面プラズモン励起を利用した高効率メロシアニンLB膜光電素子
- Al薄膜/LB薄膜上に共鳴励起した表面プラズモンによるエバネッセント場の検出とその強度特性
- 厚いセル内のLB膜上液晶分子の全反射減衰法による評価
- ポリビニルシンナメート膜を用いた液晶分子配向の全反射減衰法による評価
- 表面プラズモン励起によるメロシアニン色素LB膜の散乱光
- 表面プラズモン・導波モード同時励起型全反射減衰法によるSiO_2配向膜上5CB液晶分子の配向評価
- 有機EL素子における電気伝導の温度特性とキャリア挙動
- スパッタ法による磁気記録媒体用Cr下地膜の微細構造制御法の検討
- 銅フタロシアニンLB膜の膜構造とNO_2ガス応答
- 対向ターゲット式反応性スパッタ法によるCuAlO_2薄膜の作製と評価
- 銅フタロシアニンLB膜の光照射によるガス応答特性
- 銅フタロシアニンLB膜素子の構造とNO_2ガス電流応答特性
- 透過型グレーティングカップリング表面プラズモン共鳴特性の評価
- SrAl_2O_4:EU薄膜の作製と熱刺激発光特性
- SrAl_2O_4:Euスパッタ薄膜の作製と熱ルミネセンス特性
- 対向ターゲット式RFスパッタ法による長残光性蛍光体薄膜の作製と評価
- 31p-ZE-3 超流動プラズマの分光測定(I)(プラズマ物理・核融合(プラズマ基礎))
- Prism/Ag/MEH-PPV/C60/Al構造における表面プラズモン励起と光電特性(機能性有機薄膜・一般)
- 細管内金属ワイヤ電極を用いたエレクトロスピニング法による高分子ファイバの作製と構造観察
- 五酸化バナジウム/銅フタロシアニン薄膜トランジスタの作製と特性評価
- 反応性スパッタ法によるCuInS_2薄膜の作製と評価(薄膜プロセス・材料,一般)
- ケミカルバス法によるZnS薄膜の作製 : ヒドラジン一水和物添加の効果(薄膜プロセス・材料, 一般)
- 対向ターゲット式反応性スパッタ法によるCu-Al-O薄膜の作製と熱処理効果(薄膜プロセス・材料,一般)
- 25pB11 2元真空蒸着法によるSi(100)へのZnSのエピタキシャル成長(半導体エピ(3),第34回結晶成長国内会議)
- ケミカルバス法によるZnO薄膜の堆積(薄膜プロセス・材料,一般)
- ケミカルバス法によるZnO薄膜の堆積
- フラーレン層挿入によるナノ界面制御有機EL素子の作製と諸特性
- 3元蒸着法によるSi基板上へのCuInS_2薄膜成長
- CuInS_2-CuIn_5S_8系薄膜の構造評価
- 非線形光学結晶Ag(AlGa)S_2のGaAs基板上でのエピタキシャル成長
- CuGaS_2薄膜の配向評価
- 有機EL素子の金属電極界面のナノ構造制御と発光特性
- CS-6-3 金属格子上白色光照射表面プラズモン共鳴法を用いたセンサー応用(CS-6.環境・バイオに関わるセンシング材料とデバイス,シンポジウムセッション)
- 局所表面プラズモンおよび水晶振動子微量天秤法を用いたガスセンシング
- 局所表面プラズモンおよび水晶振動子微量天秤法を用いたガスセンシング(有機材料,一般)
- 局所表面プラズモンおよび水晶振動子微量天秤法を用いたガスセンシング
- 全反射減衰法および放射光によるポリスチレン微小球吸着膜の評価
- CS-11-10 分子幾何と表面プラズモン放射光(CS-11.有機エレクトロニクスにおける分子幾何学-界面・超構造・配向およびデバイス形成におけるトポロジー-,シンポジウム)
- 白色光分光全反射減衰法によるメロシアニンLB膜の評価
- CS-5-3 蛍光色素による表面プラズモン放射光と薄膜構造(CS-5.ナノスケール時代を迎えた薄膜電子材料の展開,エレクトロニクス2)
- 白色光照射グレーティングカップリング表面プラズモン共鳴法のセンサー応用(有機材料・一般)
- 原子層成長法によるC軸配向Baフェライト薄膜の構造と磁気特性
- Langmuir-Blodgett超薄膜を用いたSAWセンサの感応特性
- Langmuir-Blodgett超薄膜を用いたSAWセンサの感応特性
- Langmuir-Blodgett超薄膜を用いたSAWセンサの感応特性
- PAa05 全反射減衰法によるアゾ色素を含む交互吸着膜上液晶分子の光配向特性評価
- フタロシアニン電界発光素子におけるNO_2ガス吸着に伴う電気伝導および発光特性の変化
- 可視光レーザーを用いた全反射減衰法によるドナー性分子吸着 TCNQ LB膜の評価
- ドナー性分子吸着TCNQ LB膜の全反射減衰法による評価
- 全反射減衰法によるポリイミドLB配向膜上液晶層の評価
- 3PB07 全反射減衰法によるLB膜上液晶分子の配向評価
- 全反射減衰法によるSAM配向膜上液晶の評価
- スピロピランLB膜の超薄膜構造と全反射減衰法による評価
- 6)原子層積層法による六方晶バリウムフェライト薄膜の作製(画像情報記録研究会)
- 全反射減衰法によるシアニン色素吸着アゾベンゼンLB膜の光学特性と熱処理特性の評価
- クリスタルバイオレット吸着アラキジン酸LB膜の光・電気特性
- 全反射減衰法による金属薄膜上のアラキジン酸カドミウム塩LB超薄膜の構造評価
- ポルフィリンLB膜の全反射減衰特性とガス応答
- 表面プラズモン励起による有機超薄膜からの光放射特性
- ナノ構造制御有機色素薄膜の表面プラズモン励起と放射光(有機材料,一般)
- 透過型表面プラズモン共鳴法によるポリピロール誘導体薄膜上ヒトIgGの検出(センサ,デバイス,一般)
- 表面プラズモン励起による有機超薄膜からの光放射特性
- 表面プラズモン励起による有機超薄膜からの光放射特性
- 表面プラズモン励起による有機超薄膜からの光放射特性
- エバネッセント波と表面プラズモン共鳴を利用した有機デバイス・センサ(材料・光物性・センシング,有機デバイス全般・一般)
- 金属格子上に配置した銀微粒子による表面プラズモン共鳴と距離依存特性(有機材料,作製・評価技術,一般)
- ナノ構造制御有機色素薄膜の表面プラズモン励起と放射光
- C-13-2 水中で安定なPAAファイバーの作製とロングレンジ表面プラズモン共鳴法によるバイオセンサへの応用(C-13.有機エレクトロニクス,一般セッション)
- エレクトロスピニング法によるナノファイバーの作製と電子デバイスへの応用(有機ナノ材料・構造制御,デバイス応用,一般)
- CS-2-4 エレクトロスピニング法によるナノファイバーの作製とロングレンジ表面プラズモン共鳴バイオセンサーへの応用(CS-2.界面におけるナノバイオテクノロジー,シンポジウムセッション)
- 金属格子上に配置した銀微粒子による表面プラズモン共鳴と距離依存特性
- CS-1-4 表面プラズモン励起による有機デバイス・センサの高性能化(CS-1.高性能有機デバイス開発に向けた有機エレクトロニクスの新展開,シンポジウムセッション)