対向ターゲット式RFスパッタ法による長残光性蛍光体薄膜の作製と評価
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概要
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対向ターゲット式RFスパッタ法を用いて、新しい長残光性材料であるEu^<2+>を付活したSrAl_2O_4の薄膜化を試みた。Si基板上に堆積されたスパッタ薄膜では、発光に観測されず、X線回折ピークもみられなかった。しかし、スパッタ薄膜をアニールすることで、SrAl_2O_4:Eu^<2+>特有のいくつかのX線回折ピークが観測された。このスパッタ薄膜を、還元性ガス(H_2+Ar)雰囲気中または不活性ガス(Ar)雰囲気中においてアニールすることで、約520mmに発光ピークを持つフォトルミネセンスか観測された。SrAl_2O_4:Eu^<2+>スパッタ薄膜構造はX線マイクロアナライザ(EDS), SEM等によって調べられた。また、マルチチャネル・フォト・ディテクタによって熱ルミネセンスから残光特性も調べた。SrAl_2O_4:Eu^<2+>スパッタ薄膜の作製はこれまで行われておらず、今後の応用に役立つものと考える。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-08-04
著者
-
新保 一成
新潟大学大学院自然科学研究科
-
加藤 景三
新潟大学大学院自然科学研究科
-
金子 双男
新潟大学大学院自然科学研究科
-
金子 双男
新潟大学超域研究機構:新潟大学大学院自然科学研究科
-
川上 貴浩
新潟大学工学部
-
太田 雅壽
新潟大学工学部
-
太田 雅壽
新潟大学工学部電気電子工学科
-
太田 雅壽
新潟大学工学部機能材料工学科
-
上村 拓也
新潟大
-
上村 拓也
新潟大学大学院自然科学研究科
-
傳井 達
新潟大
-
傳井 達
新潟大学大学院自然科学研究所
-
川上 貴浩
新潟大学大学院自然科学研究所
-
太田 雅壽
新潟大学大学院自然科学研究所
-
Kato K
Shizuoka Johoku Senior High School Shizuoka Jpn
-
Kato Ken-ichi
Department Of Electrical Engineering Faculty Of Engineering Osaka City University
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