AFMナノリソグラフィによる導電性高分子前駆体の局所表面形状操作(有機材料・一般)

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概要

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導電性高分子は伸縮性やドーピング効果などの様々な特徴を持ち、電子デバイスへの応用が期待されている。一方、このような電子デバイスのさらなる高集積化、高速化を目指すには微細加工技術の発展が必要不可欠である。本研究では、AFMを用いてカルバゾール前駆体ポリマー薄膜に局所的に電圧を印加することにより、エレクトロアクティブなペンダントモノマーであるカルバゾールの重合(架橋)、ドーピングを試みた。また、その時の表面形状の変化をAFMにより評価を行なった。薄膜の処理条件を変えて表面形状を観察した結果、走査速度が遅く、印加電圧が大きくなるほど表面形状の変化が大きくなる傾向があることが分かった。また、AFMで局所処理を行なった部分の導電率の変化も観察された。
2008-12-04

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