スパッタ法によるMg系合金薄膜の特性の検討(薄膜プロセス・材料,一般)
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概要
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Mg膜とCu膜を交互に積層する方法により,Mg膜とCu膜の膜厚比を変化させてMg-Cu薄膜を作製し,水素と反応させる前の薄膜の構造と光学的特性の関係の検討を行った。Mg膜とCu膜の積層膜を作製する場合,Mg膜とCu膜の界面にMg_2Cu合金を形成させるためには,基板温度を約100℃とし,Cuの膜厚よりもMgの膜厚を厚くするする必要があった。深さ方向の組成分析結果から,Mg-Cu薄膜の上に堆積したPdは膜内部に拡散し,Cuの深さ方向分布と類似していた。透過率測定結果より,Mg膜とCu膜の4層積層膜の膜厚比Mg:Cu=38:2の膜は,Mg膜とNi膜の4層積層膜の雰囲気ガスの違いによる透過率の変化よりも変化の度合いが小さいものの,同様の光学的特性を有していた。
- 2009-10-22
著者
-
清水 英彦
新潟大学工学部電気電子工学科
-
岩野 春男
新潟大学工学部
-
川上 貴浩
新潟大学工学部
-
福嶋 康夫
新潟大学工学部
-
永田 向太郎
新潟大学工学部
-
岡田 智弘
新潟大学大学院自然科学研究科
-
清水 健児
新潟大学大学院自然科学研究科
-
丹内 俊郎
新潟大学工学部
-
清水 英彦
新潟大学工学部
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