CS-6-2 スパッタ成膜中の基板温度上昇の抑制と低温での酸化促進法の検討(CS-6.薄膜の高機能発現をともなう低温成膜技術の最前線,シンポジウム)

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概要

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• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2006-03-08

著者

• 清水 英彦

  新潟大 工

• 星 陽一

  東京工芸大学工学部

• 神谷 攻

  東京工芸大学工学部

• 清水 英彦

  新潟大学 工学部

• 星 陽一

  東京工芸大学 工学部 システム情報学科

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