C-6-9 ターゲット-基板間距離によるTiO_2薄膜の高速成膜法の検討(C-6. 電子部品・材料, エレクトロニクス2)

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概要

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• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2005-03-07

著者

• 星 陽一

  東京工芸大学工学部

• 神谷 攻

  東京工芸大学工学部

• 川口 茂利

  東京工芸大学工学部

• 高橋 友規

  東京工芸大学工学部

• 星 陽一

  東京工芸大学 工学部 システム情報学科

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